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[導讀]外界一直認為東芝(Toshiba)會從2011年第3季啟動18吋晶圓開發(fā)計畫,但這項計畫很有可能延期。老早表明要全速進軍18吋晶圓技術的三星電子(SamsungElectronics),在整體業(yè)績表現(xiàn)不佳的狀況下,態(tài)度亦轉為慎重。 半導體晶

外界一直認為東芝(Toshiba)會從2011年第3季啟動18吋晶圓開發(fā)計畫,但這項計畫很有可能延期。老早表明要全速進軍18吋晶圓技術的三星電子(SamsungElectronics),在整體業(yè)績表現(xiàn)不佳的狀況下,態(tài)度亦轉為慎重。

半導體晶圓直徑從2吋一路演進到現(xiàn)行最大的12吋,未來18吋晶圓投產(chǎn)后,1片18吋晶圓產(chǎn)出的晶片數(shù),將是12吋晶圓的2倍;換言之,晶圓尺寸越大,越有助于降低積體電路的制造成本。

因此臺積電、英特爾(Intel)及三星等3家半導體巨頭,從2003年起就開始發(fā)展大尺寸晶圓,企圖擠下資金不夠雄厚的業(yè)者。2008年3家公司發(fā)表共同聲明,說2012年將是半導體產(chǎn)業(yè)進入18吋晶圓制造的適當時機。

東芝向來以微細化制造技術見長,對大尺寸晶圓始終采取保留態(tài)度,但NANDFlash領域的頭號勁敵三星,在發(fā)表進軍18吋晶圓技術之后,東芝迫于情勢只好跟進。業(yè)界猜測東芝2011年第3季將開始會有具體動作。

然面對2011年連續(xù)2季虧損,三星改以減少產(chǎn)能及資本支出因應。東芝見三星縮手,開始思考18吋晶圓產(chǎn)線的必要性,傾向省下投產(chǎn)經(jīng)費,專注于細微化制程的研發(fā)。

事實上,以18吋晶圓投產(chǎn)能夠降低的?言說A遠超過新世代制程。曝光設備現(xiàn)正面臨20奈米世代的瓶頸,極紫外光(ExtremeUltraviolet;EUV)技術成為眾所期待的新星。EUV是下一代半導體光刻技術,目前已經(jīng)有多家企業(yè)引進EUV微縮制程機臺,但購置機臺費用相當高昂,而且效率不佳。業(yè)界人士表示,如果細微化制程走到死胡同,大尺寸晶圓就是廠商唯一的選擇,這樣看來18吋晶圓的量產(chǎn)時期訂為2015年絕對不算太早。

然而發(fā)展18吋晶圓,就代表設備商必須大手筆投資研發(fā),花費最多將達到1,000=美元,負擔十分沉重。

2011年1月,臺機電宣布啟動18吋晶圓廠投資計畫,預計2013年導入試產(chǎn)線,2015年以20奈米開始量產(chǎn)。英特爾正在興建18吋廠,地點屬意該公司先進制程的發(fā)源地美國奧勒岡州,預定2013年完成,看來要達成2012年開始量產(chǎn)的目標,已經(jīng)是不可能的任務,如果三星和東芝再抽腿,半導體業(yè)界邁進18吋晶圓的速度將更為緩慢。

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