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[導(dǎo)讀]據(jù)日經(jīng)BP社報(bào)道,日本信越化學(xué)工業(yè)開發(fā)出了用于微接觸印刷模版和MEMS模具的PDMS(聚二甲基硅氧烷)硅橡膠。在MEMS制造中,將用作形成μ-TAS流路和微細(xì)樹脂結(jié)構(gòu)的模具。 微接觸印刷是亞微米級(jí)微細(xì)圖案的大面積印刷

據(jù)日經(jīng)BP社報(bào)道,日本信越化學(xué)工業(yè)開發(fā)出了用于微接觸印刷模版和MEMS模具PDMS(聚二甲基硅氧烷)硅橡膠。在MEMS制造中,將用作形成μ-TAS流路和微細(xì)樹脂結(jié)構(gòu)的模具。

微接觸印刷是亞微米級(jí)微細(xì)圖案的大面積印刷技術(shù),是實(shí)現(xiàn)利用印刷技術(shù)制造電子元件的“可印刷電子(Printable Electronics)”的技術(shù)之一。通過把利用光刻制成的硅或石英制原版的圖案轉(zhuǎn)印到PDMS等硅橡膠上,制成印刷模版使用。只需將硅橡膠上圖案凸起部位的油墨印刷到薄膜上,即可形成納米圖案。

此次的硅橡膠是受新能源產(chǎn)業(yè)技術(shù)開發(fā)機(jī)構(gòu)(NEDO)的委托,作為“超柔軟顯示屏構(gòu)件技術(shù)開發(fā)”項(xiàng)目的一環(huán),由化學(xué)技術(shù)戰(zhàn)略機(jī)構(gòu)與產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所合作開發(fā)的。該產(chǎn)品不僅可以忠實(shí)地再現(xiàn)及轉(zhuǎn)印原版圖案,作為印刷材料也具有良好的適用性。另外,通過將雜質(zhì)控制到最小限度,還實(shí)現(xiàn)了防帶電功能。

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