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[導(dǎo)讀]韓國漢城大學一個研究小組近日成功開發(fā)出一種利用現(xiàn)有集成電路生產(chǎn)設(shè)備大量生產(chǎn)納米元器件的技術(shù),成品元器件具有高集成度和高精度。 該技術(shù)可以使用目前標準集成電路生產(chǎn)設(shè)備。研究發(fā)現(xiàn),在硅基片的選定位置覆蓋非

韓國漢城大學一個研究小組近日成功開發(fā)出一種利用現(xiàn)有集成電路生產(chǎn)設(shè)備大量生產(chǎn)納米元器件的技術(shù),成品元器件具有高集成度和高精度

該技術(shù)可以使用目前標準集成電路生產(chǎn)設(shè)備。研究發(fā)現(xiàn),在硅基片的選定位置覆蓋非吸附性分子膜,然后在基片上涂布含有碳納米管或纖維的溶液,納米材料可以在分子膜為覆蓋的位置自動地組合到一起,形成一個完成的納米元件。研究人員強調(diào)說,這一過程在數(shù)秒鐘內(nèi)即可完成,且獲得的元件的精度達到納米級。研究小組利用這項技術(shù),已經(jīng)制造了大量“高性能半導(dǎo)體集成電路”以及“超高靈敏度生物探頭”等元器件。最近,該小組開始接受納米集成電路的訂貨加工。
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