IC裝備制造業(yè)是裝備制造行業(yè)中科技含量最高的產(chǎn)業(yè)，被業(yè)內(nèi)人士稱為裝備制造業(yè)的珠穆朗瑪峰。2002年，為實現(xiàn)用高新技術(shù)改造傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略目標，沈陽市在全國率先提出了發(fā)展IC裝備制造產(chǎn)業(yè)的構(gòu)想。經(jīng)過3年的發(fā)展，沈陽在國家級高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)區(qū)―――渾南新區(qū)，以零部件加工和子系統(tǒng)產(chǎn)品加工為突破口，并加強同海外華人的經(jīng)濟技術(shù)交流，不斷吸收、消化國際先進技術(shù)，使渾南的IC裝備制造業(yè)迅速起步，目前正在形成兩大IC裝備制造業(yè)集團，一個是以沈陽新松機器人有限公司、沈陽芯源先進半導(dǎo)體技術(shù)有限公司、中科院沈陽自動化所為核心的IC生產(chǎn)廠晶片處理、傳送自動化裝備企業(yè)集團；一個是以中科院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司為核心的真空、成膜設(shè)備企業(yè)集團。沈陽的IC裝備制造產(chǎn)業(yè)已經(jīng)形成了從零部件和子系統(tǒng)加工，到單元和整機制造的全面發(fā)展格局，產(chǎn)業(yè)集群已初見雛形。

今年初，沈陽市同美國應(yīng)用材料公司簽訂了試加工4塊大型平板顯示器高精密零部件的合同，美國是國際IC裝備制造業(yè)的龍頭，其產(chǎn)品涵蓋了IC生產(chǎn)線所需60%以上的設(shè)備品種，對零配件的加工技術(shù)要求近乎苛刻，此前我國其他一些地區(qū)的企業(yè)也曾嘗試承接該項目，但加工出來的產(chǎn)品均未合格。為拿下這個項目，渾南新區(qū)投資80萬元作為科技創(chuàng)新基金，中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司和沈陽先進制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展有限公司共同組織科研人員進行技術(shù)攻關(guān)，終于攻克了環(huán)形燕尾槽和細長空兩項技術(shù)難關(guān)，在兩個月的時間里，技術(shù)攻關(guān)組成員與沈陽飛機制造有限公司、沈陽黎明航天發(fā)動機有限公司的科研人員一起分析、解決具體技術(shù)問題，并在沈陽鼓風(fēng)機集團、沈陽機床集團有限公司等大企業(yè)的支持下，由沈陽的技術(shù)工人進行實際操作，按時完成了4塊大型平板顯示器高精密零部件的加工。該部件經(jīng)88項人工檢測和116項設(shè)備檢測，各項指標全部檢驗合格，定期交貨。

此次加工項目的高質(zhì)量完成，是沈陽老工業(yè)基地的人才優(yōu)勢、技術(shù)優(yōu)勢、裝備優(yōu)勢的展現(xiàn)，并為吸引國外知名IC裝備制造大公司進駐沈陽提供了配套優(yōu)勢。目前，美國應(yīng)用材料公司正在同沈陽洽談新的合作項目。