致力于“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)發(fā)展的創(chuàng)新平臺(tái)上海微技術(shù)工業(yè)研究院(以下簡(jiǎn)稱“工研院”)運(yùn)營(yíng)的8英寸“超越摩爾” 研發(fā)中試線首款傳感器產(chǎn)品近日獲得驗(yàn)證通過，正式宣告研發(fā)中試線通線成功。

當(dāng)前以智能傳感終端、大數(shù)據(jù)、云計(jì)算、人工智能等為代表的信息技術(shù)正加速創(chuàng)新，萬物互聯(lián)智能化時(shí)代正在到來。其中“超越摩爾”技術(shù)以傳感器為核心，結(jié)合射頻、功率、微能源等技術(shù)，是未來實(shí)現(xiàn)萬物互聯(lián)的基礎(chǔ)。作為創(chuàng)新型功能平臺(tái)，工研院立足國(guó)內(nèi)集成電路研發(fā)和產(chǎn)業(yè)基地上海，8英寸研發(fā)中試線落戶嘉定，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)這一領(lǐng)域的空白。

研發(fā)中試線著重開展表面硅、體硅、3D微納加工工藝的開發(fā)，并根據(jù)“超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)特點(diǎn)部署MEMS、硅光子、射頻、硅基III-V族、3D集成、MR磁、功率及生物等相關(guān)工藝和量測(cè)設(shè)備，提供全方位的產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓(xùn)、設(shè)備驗(yàn)證等服務(wù)。

“這次的通線成功標(biāo)志著中國(guó)在MEMS及先進(jìn)傳感器的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)入一個(gè)全新的快速發(fā)展的階段。未來研發(fā)中試線將持續(xù)發(fā)力，在新材料、新工藝、新器件、新系統(tǒng)重點(diǎn)技術(shù)領(lǐng)域開展研發(fā)，進(jìn)一步推動(dòng)“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)鏈的完善和物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)新應(yīng)用發(fā)展。” 上海微技術(shù)工研院總裁楊瀟表示。

以全球領(lǐng)先的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線為支點(diǎn)，工研院將持續(xù)打造集研發(fā)、工程、市場(chǎng)、孵化的一體化功能平臺(tái)，為創(chuàng)新企業(yè)及合作伙伴提供全方位的服務(wù)和解決方案，建設(shè)具有全球影響力的科技創(chuàng)新中心及“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)群。

圖：上海微技術(shù)工研院8英寸 “超越摩爾” 研發(fā)中試線