根據(jù)Yole Développement公司的分析，MEMS市場將以每年13%的速度增長，到2017年將達到210億美元。

Yole Développement預期，動作感知和微流體領域?qū)尸F(xiàn)強勁增長并主導MEMS市場，到2017年會占整體市場份額的一半，而加速計、陀螺儀、磁強計和過濾器則占總體市場的25%，另外微流體占23%。

Yole預計，分立慣性傳感器的市場份額將會下降，但慣性組合解決方案的增勢還是很迅猛的。目前，過濾器組合市場份額達到了1億美元，而Yole預計到2017年會達到17億美元。

幾乎所有的MEMS廠商在2011年里都呈現(xiàn)了增長的勢頭。而慣性傳感器和麥克風廠商增長的是最快的。

ST現(xiàn)在已經(jīng)可以交付多樣性的MEMS器件產(chǎn)品了，而它90%的IDM業(yè)務是由加速計和陀螺儀兩條產(chǎn)品線組成的。ST擁有廣泛的合作關系來加速產(chǎn)品投入市場的速度、擴大產(chǎn)品范圍。

博世（Bosch）的成功則受益于工廠的基礎設施建設，其主要專注于汽車應用程序以降低價格。

有些新型的MEMS器件的市場份額正在以年復合增長率90%的速度增長。MEMS市場仍然很碎片化，很多高容量的MEMS應用仍然受到了限制。

然而，一系列的新的MEMS器件現(xiàn)在已經(jīng)面市了，其中一些即將量產(chǎn)，如那些應用于移動設備的，比如RF MEMS開關、振蕩器、自動對焦等等。新型傳感器像濕度傳感器、觸摸屏，和新型的制動器如開關、能量捕獲等等都驅(qū)動著MEMS市場未來的增勢。

另外，MEMS市場的增長還來自于現(xiàn)有傳感器技術向新的市場擴展這方面因素，有時會使用新的集成類型，如壓力傳感器等等。

2011年，MEMS業(yè)界的并購交易數(shù)量和金額都有所激增，并購總金額達到了17億美元。早期，MEMS公司的收購價格很高（如美信收購SensorDynamics公司，花費了約1.3億美元，并承擔了約3400萬美元的債務），因為擁有堅實的技術基礎的私家公司很少，這也使得它們在日益擴張的MEMS市場中變得很惹眼，很多大公司都想借由它們打入這片領域。