日前，國內首條全開放、市場化運作的6英寸微納機電制造(MEMS)中試線正式在園區(qū)投入運營，并已成功交付了首個產品。這成果意味著中小型MEMS企業(yè)今后研發(fā)樣片即可通過該中試線進入規(guī)模生產。

蘇州6英寸MEMS中試線，由蘇州納米科技發(fā)展有限公司建設，共16000平方米，其中超凈工藝場地5200平方米。該中試線是江蘇省“十二五”重大科技平臺項目，也得到了工信部“工業(yè)轉型升級服務平臺項目”支持。

蘇州納米科技發(fā)展有限公司負責人、蘇州市集成電路行業(yè)協(xié)會秘書長張希軍表示，中試線不僅是中小企業(yè)的創(chuàng)新平臺，更彌補了我國MEMS產業(yè)創(chuàng)新鏈的空白。“國內中小MEMS企業(yè)發(fā)展面臨很多困難，其中一個關鍵的難題是產品的工程化與中試生產，規(guī)模代工廠門檻較高，高校院所的實驗室工程化能力較弱或開放度不夠，產品的工程化中試已成為影響中小MEMS企業(yè)規(guī)?；砷L的瓶頸。”

“我們的中試線，與科研機構的概念驗證、單步工藝能力不同，主要開展中試和小批量生產業(yè)務，前端與產品樣品銜接，后端與規(guī)模代工廠銜接，是一個完全工業(yè)級別的中試線，不僅可以幫助中小企業(yè)創(chuàng)新，還可以促進他們規(guī)?；l(fā)展。”中試線運營總監(jiān)游家杰告訴記者。

中試線上能做啥

蘇州6英寸MEMS中試線采用市場化、全開放的運作模式，主要開展MEMS產品工藝研發(fā)、MEMS加工、部分封裝測試、專利運營、設備租賃、超凈場地租賃、工藝技術培訓等十多項專業(yè)服務，目前已成功導入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產品，樣品測試結果良好，基本具備了MEMS芯片的開發(fā)加工能力。

產業(yè)介紹

當前，我國正處在MEMS產業(yè)格局形成、產業(yè)化加速發(fā)展的時期，江蘇MEMS產業(yè)資源集聚度最高，正成為國內該產業(yè)最具吸引力的區(qū)域。蘇州在MEMS產業(yè)布局多年，目前形成了MEMS傳感器的芯片設計、研發(fā)、中試、封裝測試的全覆蓋的產業(yè)特色，涌現(xiàn)了晶方半導體、敏芯、明皜等一批業(yè)界知名公司。