FSI國際有限公司(納斯達(dá)克:FSII)今日宣布：一家領(lǐng)先的歐洲集成電路制造商在現(xiàn)場評估項目成功地驗證了缺陷排除之后,已經(jīng)購買多套ANTARES®CX超凝態(tài)過冷動力學(xué)清洗系統(tǒng)。這些系統(tǒng)將用于先進(jìn)器件平面結(jié)構(gòu)或元件結(jié)構(gòu)的前段(FEOL)和后段(BEOL)中缺陷排除。這批系統(tǒng)的營業(yè)收入預(yù)計將記錄在2005財年的前半年。
“由于超強(qiáng)的工藝性能，ANTARES系統(tǒng)正被應(yīng)用于大批量的制造中，”FSI國際有限公司董事長兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說到，“該客戶和其他客戶發(fā)現(xiàn)ANTARES超凝態(tài)過冷動力學(xué)清洗技術(shù)在缺陷排除方面非常有效，并且對敏感的元件結(jié)構(gòu)不造成損傷，這項技術(shù)正在替代用于器件生產(chǎn)的傳統(tǒng)技術(shù)。我們已經(jīng)為客戶提供了一些評估系統(tǒng)，并且在全球看到了對該技術(shù)強(qiáng)烈興趣。這些訂單標(biāo)志著第13個集成電路制造廠將應(yīng)用ANTARES系統(tǒng)的領(lǐng)先使能技術(shù)?！?br/>這項評估驗證了其他的ANTARES系統(tǒng)用戶使用超凝態(tài)過冷動力學(xué)技術(shù)排除缺陷的優(yōu)點(diǎn)。許多客戶已經(jīng)發(fā)現(xiàn)ANTARES系統(tǒng)顯著地提高了成品率、降低了器件試產(chǎn)時間以并提供一個優(yōu)異的投資回報。
ANTARES系統(tǒng)是一種全自動的、單晶圓、用于300mm和200mm晶圓的超凝態(tài)過冷動力學(xué)系統(tǒng)，它具有經(jīng)過生產(chǎn)現(xiàn)場驗證過的去除表面微粒缺陷和提高客戶成品率的應(yīng)用歷史。 AspectClean™ 工藝推出于2003年9月，它提供了客戶在先進(jìn)工藝中使用ANTARES系統(tǒng)必需的缺陷降低功能。ANTARES系統(tǒng)提供全干的、非化學(xué)反應(yīng)的方法從FEOL和BEOL平面結(jié)構(gòu)和元件結(jié)構(gòu)上取出缺陷，包括在低介電系數(shù)結(jié)構(gòu)中無損傷、不改變介電系數(shù)值或損傷內(nèi)聯(lián)層材料本身，這種方法與傳統(tǒng)方法相比具有明顯的優(yōu)勢。