諾發(fā)公司的SABRENexT銅電鍍?cè)O(shè)備在滿足下一代技術(shù)要求、更低成本和更高生產(chǎn)力等需求方面獨(dú)占鰲頭


諾發(fā)系統(tǒng)有限公司宣布，該公司的SABRE®NExT™銅電鍍系統(tǒng)由于性能出眾，被臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司（簡(jiǎn)稱“臺(tái)積電”）授予2005年度最佳產(chǎn)品獎(jiǎng)。

“SABRENexT技術(shù)領(lǐng)先、營(yíng)運(yùn)成本低、生產(chǎn)力高，是臺(tái)積電300mm產(chǎn)量增長(zhǎng)的重要因素之一，”臺(tái)積電營(yíng)運(yùn)副總裁Wei_JenLo博士說?！拔覀兎浅８兄x諾發(fā)公司致力于和臺(tái)積電緊密合作，以滿足我們?cè)诩夹g(shù)和生產(chǎn)力方面的需求?！?

“SABRENexT能被臺(tái)積電選中并授予2005年度最佳產(chǎn)品獎(jiǎng)，我們感到非常榮幸，”位于俄勒岡州Tualatin的諾發(fā)公司電鍍填充產(chǎn)品事業(yè)部的高級(jí)副總裁TimArcher說?！芭_(tái)積電是引領(lǐng)90nm及以下工藝節(jié)點(diǎn)技術(shù)發(fā)展的領(lǐng)先企業(yè)之一。通過SABRENexT，我們期望能繼續(xù)為我們的客戶提供可擴(kuò)展的技術(shù)方案，以滿足不斷變化的市場(chǎng)需求?！?

諾發(fā)公司從1998年開始向臺(tái)積電提供SABRE系列產(chǎn)品，最初提供的是應(yīng)用于200mm晶圓的130nm技術(shù)。諾發(fā)公司已經(jīng)在全球安裝了200多套SABRRE系統(tǒng)。

關(guān)于SABRENExT:
SABRENexT是先進(jìn)的電化學(xué)淀積系統(tǒng)，它可以在寬度很窄和縱寬比很高的特征結(jié)構(gòu)上成功地填充無(wú)孔洞的銅互連。它也是第一套專門為半導(dǎo)體器件批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)的銅電鍍系統(tǒng)。從1997年開始，伴隨SABRE系統(tǒng)的不斷改進(jìn)，銅雙嵌入式解決方案已從250nm技術(shù)順利發(fā)展到65nm技術(shù)。通過將獨(dú)家技術(shù)和先進(jìn)化學(xué)反應(yīng)結(jié)合，SABRE將在45nm節(jié)點(diǎn)大顯身手。