電子束光刻系統(tǒng)的知名廠商Vistec Lithography公司近日宣布他們與中國武漢華中科技大學光電工程學院簽署了戰(zhàn)略合作伙伴協(xié)議。武漢華中科技大學是大陸國家級重點院校之一，而 Vistec Lithography則是電子束光刻設備的領先廠商，按協(xié)議規(guī)定，兩家將在納米光刻技術(shù)研究和教學領域開展合作。

這次合作的核心是Vistec公司提供給華中科技大學的EBPG5000pES電子束光刻系統(tǒng)，裝備這套系統(tǒng)之后，華中科技大學在教學，科研以及對外合作方面的實力將如虎添翼。華中科技大學稱：“裝備這種新型光刻系統(tǒng)之后，我們在光電領域的技術(shù)實力將大為增強.”

電子束光刻設備可用于制作光掩膜或進行無需光掩膜的電子束直寫光刻，直接在半導體材料上用電子束刻制所需的電路版圖。