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[導(dǎo)讀]據(jù)electronicsweekly網(wǎng)站報(bào)道,臺(tái)積電公司近日宣稱已經(jīng)開發(fā)出一套采用Finfet雙門立體晶體管技術(shù)制作的高性能22/20nm CMOS制程,并已經(jīng)采用這種制程造出了面積僅0.1平方微米的SRAM單元(內(nèi)含6個(gè)CMOS微晶體管),據(jù)稱這種

據(jù)electronicsweekly網(wǎng)站報(bào)道,臺(tái)積電公司近日宣稱已經(jīng)開發(fā)出一套采用Finfet雙門立體晶體管技術(shù)制作的高性能22/20nm CMOS制程,并已經(jīng)采用這種制程造出了面積僅0.1平方微米的SRAM單元(內(nèi)含6個(gè)CMOS微晶體管),據(jù)稱這種制程生產(chǎn)的芯片產(chǎn)品在0.45V工作 電壓條件下的信號(hào)噪聲僅為0.09V。

這種Finfet制程技術(shù)采用了雙外延(dual-epitaxy)和多重硅應(yīng)變(multiple stressors,指應(yīng)用多種應(yīng)力源增強(qiáng)溝道載流子遷移率的技術(shù))技術(shù),臺(tái)積電宣稱該制程生產(chǎn)出來的產(chǎn)品,不論是采用n型還是p型溝道的型號(hào),其性能均“十分卓越”,其導(dǎo)通電流可分別達(dá)1200/1100uA/um,管子關(guān)閉時(shí)的漏電流則均僅100nA/um。

除了采用FinFET技術(shù)之外,這種新制程還采用了較先進(jìn)的193nm沉浸式光刻技術(shù),漏源級(jí)嵌入SiGe層溝道硅應(yīng)變技術(shù)(從SiGe的名稱上看,應(yīng)該是僅針對(duì)P型溝道Fin),并采用了HKMG(高K絕緣層+金屬柵極)工藝。

今年12月份,臺(tái)積電將在屆時(shí)召開的IEDM大會(huì)上公布這種制程技術(shù)的細(xì)節(jié)。

有關(guān)Finfet,以及立體型晶體管與常規(guī)平面型晶體管區(qū)別的詳細(xì)介紹,讀者可閱讀本站的這篇文章進(jìn)行了解。

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早前,就有消息稱臺(tái)積電或?qū)⒃?月份正式量產(chǎn)3nm工藝,預(yù)計(jì)于第三季下旬投片量將會(huì)有一個(gè)大幅度的拉升,而第四季度的投片量會(huì)達(dá)到上千的水準(zhǔn)并且正式進(jìn)入量產(chǎn)階段。

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據(jù)業(yè)內(nèi)信息報(bào)道,全球晶圓代工龍頭臺(tái)積電繼之前將3nm制程工藝的量產(chǎn)時(shí)間由外界預(yù)計(jì)的9月底推遲到第四季度后,再一次將其延后一個(gè)季度,預(yù)計(jì)將于明年才能量產(chǎn)。

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