據(jù)了解，MEMS、納米技術和半導體市場領先的晶圓鍵合和光刻設備供應商EVGroup(EVG)在SEMICONChina2011展會期間宣布，公司新客戶沈陽硅基科技有限公司訂購了一臺EVG850LT自動鍵合系統(tǒng)用于SOI晶圓制造。這家中美合資公司將采用EVG850LT來實現(xiàn)SOI晶圓的大規(guī)模量產(chǎn)，該設備已在2010年9月出貨。

據(jù)沈陽硅基科技有限公司總裁海鳳濤介紹，公司選擇EVG的晶圓鍵合設備是由于EVG850設備在吞吐量和良率方面的良好表現(xiàn)。“我們已經(jīng)開始大規(guī)模量產(chǎn)SOI晶圓，對EVG系統(tǒng)印象非常深。EVG是SOI鍵合設備市場的領導者，采用他們的設備將幫助我們更順利地將研發(fā)成果轉為大規(guī)模生產(chǎn)，同時確?？蛻羲徺I的晶圓是由業(yè)界標準的SOI鍵合系統(tǒng)制造而得。”