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[導讀]為了克服制程微縮帶來日益嚴峻的設計復雜度與成本提升,朝向18寸(450mm)晶圓制造邁進已成為半導體產業(yè)共同努力的目標,然而,18寸晶圓世代的有效轉型無法一蹴可幾,必須有賴業(yè)者合作制定規(guī)范,并提升生產技術才有可能

為了克服制程微縮帶來日益嚴峻的設計復雜度與成本提升,朝向18寸(450mm)晶圓制造邁進已成為半導體產業(yè)共同努力的目標,然而,18寸晶圓世代的有效轉型無法一蹴可幾,必須有賴業(yè)者合作制定規(guī)范,并提升生產技術才有可能。

在今年SEMICON Taiwan期間,SEMI邀請到全球450mm聯(lián)盟、英特爾、KLA Tencor、和SUMCO等多家業(yè)者討論SEMI的450mm技術專案小組在促進次世代半導體產業(yè)發(fā)展所做的努力以及最新成果。

英特爾說明了450mm晶圓規(guī)格的挑戰(zhàn),回顧了過去半導體產業(yè)從6寸陸續(xù)移轉到8寸與12寸晶圓的歷程,指出,每一次的世代移轉,業(yè)界共同合作與標準制定都扮演著重要角色,對450mm晶圓移轉來說更是如此。

目前全球450mm聯(lián)盟正與供應商密切合作,已完成了超過50個工具平臺的開發(fā)與測試,下一個階段,各家IC制造商將自行建立試產線,因此接下來,對于自動化系統(tǒng)、量測與生產制程工具的需求將會浮現(xiàn)。英特爾認為,450mm晶圓制造工具將會持續(xù)進展,與當初產業(yè)朝12寸移轉一樣,終將能滿足業(yè)者的實際生產需求。

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