晶圓龍頭臺積電13日董事會通過573.65億元資本支出，連同上次核準金額，合計為2033.65億元，約占臺積電全年資本支出上限100億美元的68%，顯示臺積電加速先進制程腳步。

臺積電將今年資本支出上修至95至100億美元(約新臺幣2990億)，只少許落后英特爾的110億美元，是臺灣投資計劃最大的電子大廠。

設備廠商透露，臺積電加緊20納米及16納米先進制程量產及試產時程，添購所需設備，推估今年臺積電全年資本支出，絕對會在上限100億美元，而且明年也可能與今年相近。

設備商表示，臺積電追加573.65億元的資本支出，主要用于20納米、16納米鰭式晶體管(FinFET)以下制程產能，有助于明年營收、獲利成長。

臺積電日前公布28納米上半年營收占比為29%，創(chuàng)單季新高，遙遙領先對手，預估今年28納米占營收比重將比去年成長3倍。