近日，Silicon Labs推出了一款全新的產品，基于MEMS的單晶片Si50x振蕩器，克服了此前的頻率控制產品中石英振蕩器高成本和難以小型化的缺點以及雙晶片MEMS振蕩器帶來的信號完整性和熱滯問題。Si50x基于Silicon Labs專利的CMEMS技術，首次在大批量生產中把MEMS架構直接構建于標準CMOS晶圓上，從而獲得完全集成的高可靠“CMOS+MEMS”單晶片解決方案。

Silicon Labs副總裁兼時序產品總經理Mike Petrowski介紹，Si50x與現(xiàn)有的頻率控制解決方案相比，具有更小尺寸、更高可靠性、更高集成度。此系列產品共包括四類：具有輸出使能功能的單頻率振蕩器Si501、具有OE和頻率選擇功能的雙頻率振蕩器Si502、具有FS技術的四頻率振蕩器Si503和可實時進行頻率精確調整的完全可編程振蕩器Si504。

Mike對于Si50x為什么會具有高可靠性做了詳細的解釋，其一Si50x采用SiGe材料，當環(huán)境溫度升高時，芯片上的SiGe會變硬，而其中的氧化槽則會變軟，這一軟一硬的相互被動補償，可以使器件的頻率漂移接近于0;其二整個MEMS直接架構于CMOS之上，非常接近的距離使溫度傳感器的工作效率更高，響應速度更快;其三，固定方式的不同，傳統(tǒng)的晶體振蕩器只有2個錨點，而Si50x由周圍四個加中心一個的5錨點固定，更耐得住沖擊和振動。

Mike介紹說，兩年前公司就開始和中芯國際合作開發(fā)采用CMEMS技術的生產線，實現(xiàn)了MEMS振蕩器可以在CMOS工廠大批量生產制造，從而大幅降低了生產成本。初次采用CMEMS技術生產出來的Si50x產品經過試驗具備非常出色的性能，未來會將其用于其他產品系列的生產中，也會帶來性能的大幅提升。