“上海先進”(ASMC/上海先進半導(dǎo)體制造股份有限公司)在MEMS(微機電系統(tǒng))代工領(lǐng)域取得重大進展，在打造國內(nèi)MEMS工藝生產(chǎn)平臺的同時首條MEMS工藝生產(chǎn)線已進入量產(chǎn)。

“上海先進”MEMS 生產(chǎn)線可以代工的器件包括：三軸陀螺儀、加速度計、生物MEMS芯片、光學(xué)MEMS、RF MEMS、微流體開關(guān)、壓力傳感器等，可被廣泛應(yīng)用于消費電子，醫(yī)療電子以及汽車電子等領(lǐng)域。

目前，此MEMS生產(chǎn)線擁有世界最先進的深槽刻蝕、鍵合、硅片邊緣修整等設(shè)備，設(shè)計月產(chǎn)量可達3000片;具有較大的適用范圍，包括MEMS前道(不含可動離子沾污)和后道(包含可動離子沾污的玻璃工藝)工藝。前道工藝包括光刻、干法刻蝕、濕法刻蝕、擴散、離子注入以及薄膜等;后道工藝包括光刻、干法刻蝕、濕法刻蝕、擴散、薄膜、硅片鍵合、硅片減薄、邊緣切割以及劃片等。此外“上海先進”還擁有全部的工藝在線檢測設(shè)備，具有在線缺陷檢測能力以及用于器件測試的直、交流測試能力。

“上海先進”總裁謝志峰博士表示ASMC會繼續(xù)擴充MEMS器件的制造產(chǎn)能和工藝研發(fā)，以進一步增強服務(wù)MEMS器件客戶的能力。