日本旭硝子宣布，將開始銷售用于TFT液晶面板的大型光掩模石英底板。通過采用該公司積累的合成石英制造技術(shù)，可生成質(zhì)量高且成本低的光掩模。計(jì)劃從2011年開始在福島縣的AGC Electronic生產(chǎn)，力爭(zhēng)2014年實(shí)現(xiàn)30億日元的銷售額。

旭硝子此前已將合成石英的制造加工技術(shù)應(yīng)用到了ArF激光器中的合成石英透鏡材料等半導(dǎo)體產(chǎn)品中。此次進(jìn)一步將該技術(shù)應(yīng)用于要求大型化的液晶用途，新開發(fā)出了大型光掩模石英底板。還支持采用第10代以上大型底板的液晶制造工藝（玻璃底板尺寸為2800mm×3000mm，光掩模尺寸為1620mm×1780mm），另外，還能以比原產(chǎn)品更低的成本進(jìn)行生產(chǎn)。（記者：田中 直樹）