牛尾電機正在開發(fā)的曝光用LED光源，在“Semicon Japan 2011”（2011年12月7～9日，幕張Messe會展中心）上參考展出。有望取代之前使用的汞（Hg）燈。該公司表示，準備開拓能發(fā)揮LED光源特點的應用。

據(jù)牛尾電機介紹，展示的曝光用LED光源，其本身的開發(fā)已經完成，目前正在探索用戶的使用方法。該LED光源可輸出相當于汞燈g線（波長為436mm）、h線（波長為405mm）和i線（波長為365mm）波長的光。目前的光強度相當于輸出功率750W的汞燈。該LED光源的特點是，可改變汞燈中固定的g線、h線和i線的光強度比。另外，雖然與之前使用的汞燈相比初期成本較高，但由于使用壽命長，所以可降低運行成本（Running Cost）。此外，其發(fā)熱較低，可實現(xiàn)節(jié)能省空間化。牛尾電機表示，將開拓能發(fā)揮這些特點的應用。