[導讀]東芝開發(fā)出了11.7英寸的柔性有機EL面板，并在美國波士頓舉行的“SID 2012”上發(fā)表了相關論文（論文序號：74.2L）。在開發(fā)人員見面會上，除公開了該面板工作演示的影像外，東芝還展示了在薄膜上形成的驅動元件（TFT）
東芝開發(fā)出了11.7英寸的柔性有機EL面板，并在美國波士頓舉行的“SID 2012”上發(fā)表了相關論文（論文序號：74.2L）。在開發(fā)人員見面會上，除公開了該面板工作演示的影像外，東芝還展示了在薄膜上形成的驅動元件（TFT）。
此次開發(fā)產品的像素為960×540，清晰度為94ppi，通過氧化物半導體非晶IGZO TFT進行驅動。組合使用白色有機EL材料與RGB三色彩色濾光片（CF）實現彩色顯示。有機EL元件的構造為從TFT基板提取光的底部發(fā)光型。面板的開口率為42％。
制作流程如下：在玻璃基板上涂覆厚度為10μm左右的聚酰亞胺（PI）后，通過真空成膜與光刻技術形成非晶IGZO TFT；然后在TFT陣列上形成彩色濾光片與白色有機EL；最后，剝離玻璃基板制成柔性面板。東芝表示，“可最輕松地實現量產和大屏幕化”。
非晶IGZO TFT是在半導體層上部設置蝕刻阻擋層的底柵型。為提高可靠性，在蝕刻阻擋層與源漏電極形成后，追加了300℃以下的退火處理。載流子遷移率為17.3cm2/Vs，閾值電壓為0.86V，亞閾值擺幅（Subthreshold Swing）為0.21V/dec。
東芝同時還推出了將此次開發(fā)產品與傳感器組合使用，通過彎曲顯示部分進行操作的直觀用戶界面（UI）。由此，該柔性面板不僅具有重量輕、可彎曲的特性，“還可提供新的附加值”（該公司）。演示中展示了通過稍微彎曲面板來放大或縮小地圖應用的實際情景。
圖1：演示影像
圖2：在聚酰亞胺上形成非晶IGZO TFT。表面貼有保護膜
此次開發(fā)產品的像素為960×540，清晰度為94ppi，通過氧化物半導體非晶IGZO TFT進行驅動。組合使用白色有機EL材料與RGB三色彩色濾光片（CF）實現彩色顯示。有機EL元件的構造為從TFT基板提取光的底部發(fā)光型。面板的開口率為42％。
制作流程如下：在玻璃基板上涂覆厚度為10μm左右的聚酰亞胺（PI）后，通過真空成膜與光刻技術形成非晶IGZO TFT；然后在TFT陣列上形成彩色濾光片與白色有機EL；最后，剝離玻璃基板制成柔性面板。東芝表示，“可最輕松地實現量產和大屏幕化”。
非晶IGZO TFT是在半導體層上部設置蝕刻阻擋層的底柵型。為提高可靠性，在蝕刻阻擋層與源漏電極形成后，追加了300℃以下的退火處理。載流子遷移率為17.3cm2/Vs，閾值電壓為0.86V，亞閾值擺幅（Subthreshold Swing）為0.21V/dec。
東芝同時還推出了將此次開發(fā)產品與傳感器組合使用，通過彎曲顯示部分進行操作的直觀用戶界面（UI）。由此，該柔性面板不僅具有重量輕、可彎曲的特性，“還可提供新的附加值”（該公司）。演示中展示了通過稍微彎曲面板來放大或縮小地圖應用的實際情景。
圖1：演示影像
圖2：在聚酰亞胺上形成非晶IGZO TFT。表面貼有保護膜
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