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[導(dǎo)讀]IGZO(Indium Gallium Zinc Oxide)是銦鎵鋅氧化物的縮寫,非晶IGZO材料是用于新一代薄膜晶體管技術(shù)中的溝道層材料,IGZO比起非晶矽,能夠縮小晶體管尺寸,可提高面板畫素的開口率,較易實(shí)現(xiàn)高精細(xì)化,分辨率高出一倍

IGZO(Indium Gallium Zinc Oxide)是銦鎵鋅氧化物的縮寫,非晶IGZO材料是用于新一代薄膜晶體管技術(shù)中的溝道層材料,IGZO比起非晶矽,能夠縮小晶體管尺寸,可提高面板畫素的開口率,較易實(shí)現(xiàn)高精細(xì)化,分辨率高出一倍,電子遷移率快10倍,將簡單的外部電路集成至面板后,耗電量也降至3分之2。

IGZO材料及技術(shù)專利主要由日本廠商擁有,IGZO整體性能介于LTPS和非晶矽之間,7~8道的光罩也介于兩者之間,簡化制程提高良率的同時(shí),也不至于降低太多性能,在高世代大尺寸面板的生產(chǎn)在線,將傳統(tǒng)非晶矽生產(chǎn)設(shè)備轉(zhuǎn)換成IGZO所投資的金額,遠(yuǎn)低于LTPS,是其最大優(yōu)勢。



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