從科技部《半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)"十二五"規(guī)劃》的發(fā)布，再到2015年大型MOCVD設(shè)備、關(guān)鍵原材料實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化奮斗目標(biāo)的提出，國內(nèi)很多研究院校、企業(yè)加碼研發(fā)MOCVD設(shè)備，試圖打破歐美巨頭壟斷局面。

“MOCVD設(shè)備雖然成本較高，但政府補(bǔ)貼在行業(yè)發(fā)展的過程中，對研發(fā)LED外延片和芯片制造關(guān)鍵技術(shù)卻可以起到“四兩撥千斤”的作用，并成為促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展的一個(gè)“增利點(diǎn)”?！眹译娖鳟a(chǎn)品安全質(zhì)量監(jiān)督檢查中心李自力對《廣東LED》表示。

國家在LED發(fā)展政策，先后開始為企業(yè)購置MOCVD設(shè)備提供補(bǔ)助。按照機(jī)型種類及所在地區(qū)不同，企業(yè)每購置一臺(tái)MOCVD設(shè)備，可得到數(shù)百致上千人民幣的不等補(bǔ)助。中國企業(yè)不斷在MOCVD設(shè)備制造領(lǐng)域中求突破，但若打破歐美巨頭的壟斷格局，處于競技提質(zhì)期的本土企業(yè)將迎來新的利好發(fā)展期。

各個(gè)企業(yè)紛紛大力引進(jìn)MOCVD等關(guān)鍵設(shè)備、開始研發(fā)LED外延片和芯片制造關(guān)鍵技術(shù)，加快提高芯片、封裝和模塊制造水平，將會(huì)改變多年以來的形成的“進(jìn)口MOCVD設(shè)備依賴癥”，使得LED產(chǎn)業(yè)迅速做大做強(qiáng)，形成了從“襯底材料—外延片—芯片—封裝—應(yīng)用”的產(chǎn)業(yè)鏈。

核心專利受制于人本土企業(yè)研發(fā)MOVCD遭遇束足

LED的核心技術(shù)是高亮度LED的外延生長和芯片制造技術(shù)，具有較高的技術(shù)含量和附加值，是典型的技術(shù)密集型和資本密集型產(chǎn)業(yè)，該領(lǐng)域一直是業(yè)內(nèi)公司競相攀登的行業(yè)高地。

核心設(shè)備及部分原材料依賴進(jìn)口、外延芯片缺乏核心專利、測試方法及設(shè)備支撐不足，目前全球的MOCVD設(shè)備市場主要被兩家國外設(shè)備供應(yīng)商AIXTRON和VEECO所壟斷。僅一臺(tái)進(jìn)口MOCVD設(shè)備的售價(jià)目前約為1500萬元，其成本占整個(gè)芯片設(shè)備成本的50%左右。

制造商壟斷LED產(chǎn)業(yè)在全球已經(jīng)形成了一套完整的產(chǎn)業(yè)鏈，美國、日本、歐洲、中國臺(tái)灣和韓國等國家和地區(qū)的企業(yè)數(shù)量眾多，主要集中在襯底、外延片、芯片以及封裝領(lǐng)域。當(dāng)前，美國、日本等在核心器件的原材料和器件設(shè)計(jì)上具有技術(shù)優(yōu)勢，處于世界領(lǐng)先水平，其中日本的日亞化學(xué)和豐田合成、美國的Cree、德國的Osram在世界半導(dǎo)體照明專利市場上暫時(shí)處于技術(shù)壟斷地位。在銷售額和市場份額方面，這些大公司也處于絕對領(lǐng)先位置。

晶科電子的一位研發(fā)人員告訴記者：“2009年前，LED產(chǎn)業(yè)和MOCVD市場很小，只有愛思強(qiáng)、維易科和一家日本公司提供MOCVD設(shè)備。2009年后，由于背光源的應(yīng)用，LED產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)了井噴式的發(fā)展，給這兩家公司提供了發(fā)展契機(jī)。由于專有技術(shù)、專利權(quán)等技術(shù)性壟斷，新進(jìn)入的MOCVD提供商，有的不能提供滿足客戶需求的設(shè)備和技術(shù)，有的未能及時(shí)提供設(shè)備趕上市場的窗口，進(jìn)而奠定了愛思強(qiáng)和維易科變相壟斷的局面?！?/p>

據(jù)GSC提供數(shù)據(jù)顯示，國際上采用SiC作為襯底的芯片生產(chǎn)企業(yè)主要包括：美國的Cree公司、歐洲的SiCrystal和Norstel公司、亞洲的天科合達(dá)藍(lán)光半導(dǎo)體有限公司和NionSteel公司，其中，美國Cree公司的SiC芯片技術(shù)和產(chǎn)銷量均處于國際領(lǐng)先地位。

目前LED外延片生產(chǎn)技術(shù)主要采用MOCVD，世界范圍內(nèi)能夠生產(chǎn)這一設(shè)備的企業(yè)不過3到5家。世界上最大的兩家MOCVD生產(chǎn)商為德國的AIXTRON和美國的VEECO，它們占據(jù)全球MOCVD供應(yīng)市場90%以上的市場份額，處于壟斷地位。

擺脫“進(jìn)口依賴”本土企業(yè)奮起反壟斷

近年來，憑借高效節(jié)能、綠色環(huán)保等特點(diǎn)，LED產(chǎn)業(yè)在國內(nèi)獲得快速發(fā)展。科技部發(fā)布的《半導(dǎo)體照明科技發(fā)展“十二五”專項(xiàng)規(guī)劃》指出，到2015年，LED產(chǎn)業(yè)規(guī)模預(yù)計(jì)將達(dá)到5000億元，并明確指出80%以上的LED芯片要實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化。

如今，中國大陸的MOCVD設(shè)備增速已位居全球首位，同時(shí)也成為全球兩大MOCVD設(shè)備企業(yè)愛思強(qiáng)和維易科的最大收入來源，量產(chǎn)型MOCVD依靠進(jìn)口，嚴(yán)重制約著國內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)的自主化發(fā)展。

一位業(yè)內(nèi)人士對《廣東LED》透露，近年來政府大力扶持半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)“跨越式發(fā)展”。技術(shù)上鼓勵(lì)先進(jìn)LED技術(shù)的研發(fā)和量產(chǎn)，并將通過項(xiàng)目補(bǔ)貼、設(shè)備補(bǔ)貼等方式對LED外延芯片及照明應(yīng)用企業(yè)進(jìn)行政策扶持。由于要發(fā)展LED產(chǎn)業(yè)鏈“核心”，因此外延芯片自然成為發(fā)展重點(diǎn)。

歷經(jīng)幾年的大力研發(fā)和核心技術(shù)的公關(guān)，國內(nèi)眾多企業(yè)紛紛推出國產(chǎn)MOCVD產(chǎn)品，標(biāo)志中國企業(yè)在LED芯片生產(chǎn)核心設(shè)備國產(chǎn)化道路上取得新突破。從2011年開始，包括廣東昭信集團(tuán)、思捷愛普、理想新能源、中科宏微、青島杰生光電等在內(nèi)的多家企業(yè)紛紛宣布推出首臺(tái)國產(chǎn)MOCVD，中科院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所、南昌大學(xué)材料科學(xué)研究所等科研機(jī)構(gòu)也發(fā)布了MOCVD研發(fā)計(jì)劃書。截至2012年年底，國內(nèi)已有近20家企業(yè)和科研團(tuán)隊(duì)宣布涉足MOCVD設(shè)備技術(shù)研發(fā)。

來自政府的MOCVD補(bǔ)貼也是內(nèi)地芯片廠不斷擴(kuò)大機(jī)臺(tái)規(guī)模和市場份額的重要推力。內(nèi)地芯片企業(yè)通過挖角等方式從臺(tái)廠聘請了大批優(yōu)秀的工程師，這讓內(nèi)地芯片的性能快速提高。

多家權(quán)威機(jī)構(gòu)發(fā)布的數(shù)據(jù)顯示，MOCVD設(shè)備采購近兩年出現(xiàn)“瘋狂”增長，2010年前中國大陸MOCVD總裝機(jī)量只有150臺(tái)左右，2010年年底增至350臺(tái)，2011年年底更是達(dá)到近700臺(tái)。截至2012年11月底，國內(nèi)量產(chǎn)MOCVD設(shè)備數(shù)量已達(dá)到909臺(tái)。

隨著中國芯片業(yè)的發(fā)展，芯片國產(chǎn)化率也在不斷提高。中國LED產(chǎn)業(yè)需要有實(shí)力的、屬于自己的MOCVD公司的出現(xiàn)，以提升整個(gè)LED產(chǎn)業(yè)的技術(shù)及創(chuàng)新能力。MOCVD設(shè)備國產(chǎn)化成功，意味著長期由國外壟斷的技術(shù)將被打破，國內(nèi)眾多LED企業(yè)將告別對國外產(chǎn)品的完全依賴，國內(nèi)LED自主產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈將更加完善，國內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)也將會(huì)迎來爆發(fā)點(diǎn)。