最近，北京北方微電子公司和中科信公司承擔(dān)的國(guó)家100納米刻蝕機(jī)與離子注入機(jī)設(shè)備攻關(guān)項(xiàng)目順利通過國(guó)家驗(yàn)收，標(biāo)志著我國(guó)集成電 路裝備技術(shù)直接跨越了5個(gè)技術(shù)代，達(dá)到了與國(guó)際同步的“8英寸100納米”裝備水平。 

    據(jù)介紹，這兩家公司向中芯國(guó)際集成電路制造公司供貨，簽訂了價(jià)值過億元的采 購(gòu)大單。這是我國(guó)國(guó)產(chǎn)主流集成電路核心設(shè)備首個(gè)大單， 
  
    打破了8英寸以上集成電路核心設(shè)備全部被外國(guó)企業(yè)壟斷的局面。