氧化物半導體TFT專利授權(quán)給三星，日本企業(yè)判斷失誤
[導讀]日本科學技術振興機構(gòu)（JST）2011年7月與韓國三星電子就使用氧化物半導體的“IGZO（In-Ga-Zn-O）TFT”技術專利簽署了授權(quán)協(xié)議。該技術基于東京工業(yè)大學應用陶瓷研究所教授細野秀雄的研究小組1995年開始開發(fā)的“透明氧
日本科學技術振興機構(gòu)（JST）2011年7月與韓國三星電子就使用氧化物半導體的“IGZO（In-Ga-Zn-O）TFT”技術專利簽署了授權(quán)協(xié)議。該技術基于東京工業(yè)大學應用陶瓷研究所教授細野秀雄的研究小組1995年開始開發(fā)的“透明氧化物半導體（TAOS）”。
IGZOTFT是實現(xiàn)具有超高精細、高速驅(qū)動及柔性等特點的新一代顯示器的核心技術之一，日本國內(nèi)外的面板廠商正在進行激烈的開發(fā)競爭。這是因為IGZOTFT的載流子遷移率高達非晶硅型TFT的數(shù)十倍，而且很少產(chǎn)生制造偏差。另外，IGZO能夠采用低溫工藝，還可考慮在基本室溫下于樹脂基板上制作TFT。除了三星之外，最近夏普、日本半導體能源研究所（SEL）及東芝等也加入了實用化競爭。
此次向三星提供授權(quán)的專利技術基于細野在JST的支持下取得的研發(fā)成果。細野自己的專利以及JST擁有的專利廣泛涉及材料成分、設備及制造工藝等，共有數(shù)十項。除了在JST的支持下獲得的專利之外，東京工業(yè)大學與佳能共同取得的專利也有“10項左右”（細野）。此次將把這50多項專利打包提供給三星。
正是因為三星專利才得以實用化
此次的專利基于在日本政府資助下取得的研究成果，JST宣布向三星提供專利授權(quán)之后，引起了不同反響，其中不乏指責之聲。細野對此作出了以下解釋：①與三星簽署的協(xié)議沒有排他性，授權(quán)大門同樣向日本國內(nèi)企業(yè)敞開，②如果沒有三星的話，辛苦開發(fā)出來的IGZOTFT就有可能無法實用化。
第②點尤其重要，細野就此高度評價了三星公司的研發(fā)能力與管理層的投資判斷力。據(jù)說細野2004年在英國的學術雜志《自然》上發(fā)表IGZOTFT相關論文時，日本大型面板廠商的反應十分遲鈍。“看到論文后立即與我們聯(lián)系的企業(yè)是佳能、凸版印刷、韓國LG電子以及三星的研發(fā)部門——三星尖端技術研究所（SAIT）”。
當時，很多日本面板廠商都在氧化鋅（ZnO）半導體的實用化方面遭受過挫折。據(jù)說這些廠商對成分與氧化鋅半導體相似，而且使用稀有金屬In的IGZO表明了拒絕態(tài)度。另外一個原因是，當時日本國內(nèi)的很多面板廠商都專注于LTPS（低溫多晶硅）技術。
細野首先與佳能積極進行IGZO的聯(lián)合研究。但佳能缺乏顯示器技術。TFT需要在推進開發(fā)的同時評估使用這種晶體管的顯示器的影像顯示能力，以不斷提高性能，但佳能的缺點是“無法在開發(fā)TFT時進行信息反饋”（細野）。而擁有顯示器技術的韓國廠商通過發(fā)揮反饋機制的作用，逐步提高了技術成熟度。
兩家韓國廠商的開發(fā)態(tài)度也不相同?！癓G沒有公開研究成果，對實用化的投資判斷也落后于人。而三星對研究成果的討論采取非常開放的態(tài)度，還積極承擔了風險”（細野）。
也就是說，從基礎研究不停走向面板實用化道路的其實只有三星一家公司。而且，三星還不斷在各種展會及學會上展出了使用IGZOTFT的液晶面板及有機EL面板，這讓“日本國內(nèi)的面板廠商開始重新考慮IGZOTFT”（細野）。另外，凸版印刷好像走上了開發(fā)電子紙的自主路線。
與惠普展開技術競爭
細野表示，自己并沒有從三星等公司獲得任何研發(fā)費用，而是一直與其保持一定距離。還就專利與三星乃至韓國專利廳等進行了最大限度的交涉?！叭绻覀儾惶峁┦跈?quán)的話，三星可能會選擇美國惠普（HP）公司正在全球申請專利的競爭技術”（細野）。
關于細野在日本獲得的IGZO專利，最初韓國并不承認其作為專利技術的新穎性。因此，盡管周圍人認為“勝算只有10％”，細野仍要求在韓國進行審判，并親自站在證人席上陳述了技術的新穎性。2010年11月，其部分觀點終于獲得認可。細野的努力可能也對此次授權(quán)起到了積極作用。
細野在回顧這幾年的“奮斗”時表示，“專利技術得到采用才能體現(xiàn)出開發(fā)的意義。如果不向三星提供授權(quán)而導致專利被埋沒的話，將是一件可怕的事情”。
IGZOTFT是實現(xiàn)具有超高精細、高速驅(qū)動及柔性等特點的新一代顯示器的核心技術之一，日本國內(nèi)外的面板廠商正在進行激烈的開發(fā)競爭。這是因為IGZOTFT的載流子遷移率高達非晶硅型TFT的數(shù)十倍，而且很少產(chǎn)生制造偏差。另外，IGZO能夠采用低溫工藝，還可考慮在基本室溫下于樹脂基板上制作TFT。除了三星之外，最近夏普、日本半導體能源研究所（SEL）及東芝等也加入了實用化競爭。
此次向三星提供授權(quán)的專利技術基于細野在JST的支持下取得的研發(fā)成果。細野自己的專利以及JST擁有的專利廣泛涉及材料成分、設備及制造工藝等，共有數(shù)十項。除了在JST的支持下獲得的專利之外，東京工業(yè)大學與佳能共同取得的專利也有“10項左右”（細野）。此次將把這50多項專利打包提供給三星。
正是因為三星專利才得以實用化
此次的專利基于在日本政府資助下取得的研究成果，JST宣布向三星提供專利授權(quán)之后，引起了不同反響，其中不乏指責之聲。細野對此作出了以下解釋：①與三星簽署的協(xié)議沒有排他性，授權(quán)大門同樣向日本國內(nèi)企業(yè)敞開，②如果沒有三星的話，辛苦開發(fā)出來的IGZOTFT就有可能無法實用化。
第②點尤其重要，細野就此高度評價了三星公司的研發(fā)能力與管理層的投資判斷力。據(jù)說細野2004年在英國的學術雜志《自然》上發(fā)表IGZOTFT相關論文時，日本大型面板廠商的反應十分遲鈍。“看到論文后立即與我們聯(lián)系的企業(yè)是佳能、凸版印刷、韓國LG電子以及三星的研發(fā)部門——三星尖端技術研究所（SAIT）”。
當時，很多日本面板廠商都在氧化鋅（ZnO）半導體的實用化方面遭受過挫折。據(jù)說這些廠商對成分與氧化鋅半導體相似，而且使用稀有金屬In的IGZO表明了拒絕態(tài)度。另外一個原因是，當時日本國內(nèi)的很多面板廠商都專注于LTPS（低溫多晶硅）技術。
細野首先與佳能積極進行IGZO的聯(lián)合研究。但佳能缺乏顯示器技術。TFT需要在推進開發(fā)的同時評估使用這種晶體管的顯示器的影像顯示能力，以不斷提高性能，但佳能的缺點是“無法在開發(fā)TFT時進行信息反饋”（細野）。而擁有顯示器技術的韓國廠商通過發(fā)揮反饋機制的作用，逐步提高了技術成熟度。
兩家韓國廠商的開發(fā)態(tài)度也不相同?！癓G沒有公開研究成果，對實用化的投資判斷也落后于人。而三星對研究成果的討論采取非常開放的態(tài)度，還積極承擔了風險”（細野）。
也就是說，從基礎研究不停走向面板實用化道路的其實只有三星一家公司。而且，三星還不斷在各種展會及學會上展出了使用IGZOTFT的液晶面板及有機EL面板，這讓“日本國內(nèi)的面板廠商開始重新考慮IGZOTFT”（細野）。另外，凸版印刷好像走上了開發(fā)電子紙的自主路線。
與惠普展開技術競爭
細野表示，自己并沒有從三星等公司獲得任何研發(fā)費用，而是一直與其保持一定距離。還就專利與三星乃至韓國專利廳等進行了最大限度的交涉?！叭绻覀儾惶峁┦跈?quán)的話，三星可能會選擇美國惠普（HP）公司正在全球申請專利的競爭技術”（細野）。
關于細野在日本獲得的IGZO專利，最初韓國并不承認其作為專利技術的新穎性。因此，盡管周圍人認為“勝算只有10％”，細野仍要求在韓國進行審判，并親自站在證人席上陳述了技術的新穎性。2010年11月，其部分觀點終于獲得認可。細野的努力可能也對此次授權(quán)起到了積極作用。
細野在回顧這幾年的“奮斗”時表示，“專利技術得到采用才能體現(xiàn)出開發(fā)的意義。如果不向三星提供授權(quán)而導致專利被埋沒的話，將是一件可怕的事情”。
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