SINGULUS引進新設備改進Silex系統(tǒng)

時間：2011-08-15 18:43:34

關(guān)鍵字：光伏電池 SINGULAR 太陽能光伏晶體

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[導讀]SINGULUS技術(shù)公司宣布研制了一種新的電感耦合等離子體（ICP-PECVD）覆膜設備，該設備用于晶體硅太陽能光伏組件的生產(chǎn)，將在第26屆德國漢堡的EU—PVSEC上展出。近日，該公司宣布其Silex濕法蝕刻工具的改進，其采用無溶

SINGULUS技術(shù)公司宣布研制了一種新的電感耦合等離子體（ICP-PECVD）覆膜設備，該設備用于晶體硅太陽能光伏組件的生產(chǎn)，將在第26屆德國漢堡的EU—PVSEC上展出。

近日，該公司宣布其Silex濕法蝕刻工具的改進，其采用無溶劑的處理方法可以大大降低光伏電池的生產(chǎn)成本。

該公司新推出的“Singular”是一個由數(shù)個真空室構(gòu)成的模塊化的工具，它使高效率的光伏電池制造過程更為靈活。SINGULUS指出，改進后的Silex系統(tǒng)避免了使用揮發(fā)性溶劑包括異丙醇（IPA）。

同時，該公司指出，這比傳統(tǒng)的蝕刻系統(tǒng)成本更低，使蝕刻液的壽命延長了3倍并縮短蝕刻時間。新系統(tǒng)能夠達到每小時3000片的產(chǎn)量，廢品率小于0.05％。公司指出，第一臺機器已被一亞洲客戶買走，并已順利通過了最終驗收測試。