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[導(dǎo)讀]為了降低企業(yè)投入 MEMS 開發(fā)時(shí)面臨 失效等挑戰(zhàn),宜特(iST)宣布成功建構(gòu)出 MEMS G-Sensor 的標(biāo)準(zhǔn)失效分析流程。宜特指出,該流程已經(jīng)被許多公司實(shí)際采用,在全臺開發(fā) MEMS G-sensor 的公司中,約有九成采用該流程解決

為了降低企業(yè)投入 MEMS 開發(fā)時(shí)面臨 失效等挑戰(zhàn),宜特(iST)宣布成功建構(gòu)出 MEMS G-Sensor 的標(biāo)準(zhǔn)失效分析流程。宜特指出,該流程已經(jīng)被許多公司實(shí)際采用,在全臺開發(fā) MEMS G-sensor 的公司中,約有九成采用該流程解決失效問題。

iST獨(dú)家研發(fā)的 MEMS G-Sensor 失效分析標(biāo)準(zhǔn)流程,已經(jīng)通過全球電子元件檢測失效分析技術(shù)研討會-ISTFA的認(rèn)可,并成為首家擁有 MEMS 研究團(tuán)隊(duì)的實(shí)驗(yàn)室。

iST觀察發(fā)現(xiàn),許多公司欲了解MEMS元件的失效狀況時(shí),由于對其結(jié)構(gòu)的認(rèn)知度、掌握度不夠,因此以傳統(tǒng)方式做開蓋(De-cap)觀察,容易造成元件污染。 此外,由于元件為懸浮結(jié)構(gòu),以外力移除時(shí)易產(chǎn)生毀損。在兩造影響下易于造成元件污染和應(yīng)力破壞,不但沒有找出真因,反而制造更多失效盲點(diǎn)。

為了克服此問題,iST成功開發(fā)出 MEMS 無污染的 De-cap 技術(shù),結(jié)合無應(yīng)力的元件移除技術(shù),以非破壞方式保留結(jié)構(gòu)原貌,避開機(jī)械應(yīng)力和污染產(chǎn)生的非真因失效。目前已幫助三十多家 MEMS 設(shè)計(jì)、制造與封裝企業(yè),對癥下藥地找出失效點(diǎn)并成功改善,搶攻市場先機(jī)。

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