【導讀】MEMS隨著半導體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展，MEMS是感知、計算和執(zhí)行的融合，它把電子技術(shù)與機械特性有機地結(jié)合了起來，可同時實現(xiàn)物理、化學、生物等方面的功能，現(xiàn)已滲透到電子、化學、醫(yī)學、生物等各個領(lǐng)域，變成世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一，并具有廣闊的前景。

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)微電子機械系統(tǒng)，出現(xiàn)于19世紀，從上世紀60年代起經(jīng)過美國科技人員的不斷開發(fā)改進，并于1989年首先提出了“微電子技術(shù)應(yīng)用于電機系統(tǒng)”的概念。由此，MEMS成為微機械等領(lǐng)域的學術(shù)用語，MEMS技術(shù)也成為熱門研究課題。MEMS隨著半導體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展，MEMS是感知、計算和執(zhí)行的融合，它把電子技術(shù)與機械特性有機地結(jié)合了起來，可同時實現(xiàn)物理、化學、生物等方面的功能，現(xiàn)已滲透到電子、機械、物理、化學、醫(yī)學、生物等各個領(lǐng)域，變成世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一，并具有廣闊的前景。MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造的傳感器，與傳統(tǒng)傳感器相比，具有體積小、重量輕、成本低、功耗少、可靠性高、適于批量生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化等特點。

傳感器已屬于WSTS的統(tǒng)計項目之一，2012年銷售值80億美元，占整個半導體市場的2.7%，2013年增長4.5%，達84億美元，占2.8%，明年進一步上揚7.1%，達90億美元，占2.9%，2015年續(xù)增5.5%，達95億美元，占2.9%，保持著年年成長的趨勢。另外，F(xiàn)airchild Semiconductor公司MEMS與傳感器解決方案副總裁Janusz Bryzek從出貨量方面進行了預(yù)測，他說未來世界MEMS傳感器的應(yīng)用有可能達到萬億片的規(guī)模，展望2023年， MEMS芯片出貨量估計可達1630億片，半導體芯片則為1.95萬億片，MEMS芯片出貨量占半導體量的比重將從2010年的3%提高到2023年的8%。從今往后兩者出貨量的發(fā)展速度會愈來愈快，MEMS的增速將從每年13%，提高到38%，半導體則將從9%提升到27%，前者的成長速度更勝于后者。

人機介面的歷史從鍵盤、鼠標，到目前流行的MEMS傳感器和控制器，觸控、手勢、語音、影像識別等正日漸普及，MEMS傳感器的應(yīng)用不斷擴大。以日本為例，在半導體趨于式微的今天，半導體廠商轉(zhuǎn)而寄希望于傳感器，積極推進MEMS傳感器事業(yè)。今年6月日本政府擬定的“日本再興戰(zhàn)略(Japan Is Back)”中便列有基礎(chǔ)設(shè)施檢查診斷項目。在橋梁、道路、大樓等基礎(chǔ)設(shè)施中設(shè)置各類傳感器，以收集的有關(guān)數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)，企望發(fā)揮檢查診斷的作用。這方面使用的傳感器市場規(guī)模將從今天的5000億日元增長到2030年的10萬億日元。衰落的家電王國日本今后傳感器的應(yīng)用將向著醫(yī)療和機器人邁進，隨著高齡化的進展和抑制高昂的醫(yī)療費用，國家將推行家庭醫(yī)療政策，廣泛采用小型醫(yī)療器具，增加傳感和監(jiān)視功能，利用可穿戴設(shè)備經(jīng)常監(jiān)視老年人的血壓和心跳，防病于未然。

先前的日本福島第一核電廠事故中首先采用了機器人，此外，護理工作和生產(chǎn)自動化都將積極采用智能機器人，基礎(chǔ)設(shè)施非破壞性檢查診斷也需用機器人，故而日本機器人市場將從今天的50億日元成長到2030年的2萬億日元。還有汽車業(yè)也是日本的得意行業(yè)，凡此，都是廣泛采用傳感器的領(lǐng)域，因而JEITA(日本電子信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)協(xié)會)預(yù)測，日本2020年傳感器市場將達5.87萬億日元。

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