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[導讀]【導讀】SVTC,300 mm化學機械研磨(CMP),Entrepix合作 SVTC技術(shù)公司今天宣布將與Entrepix合作,這項合作將提供SVTC使用徳州德克薩斯晶圓場Tool Access Program (TAP)客戶所需的所有300 mm化學機械研磨(CMP)的開發(fā)和

【導讀】SVTC,300 mm化學機械研磨(CMP),Entrepix合作 SVTC技術(shù)公司今天宣布將與Entrepix合作,這項合作將提供SVTC使用徳州德克薩斯晶圓場Tool Access Program (TAP)客戶所需的所有300 mm化學機械研磨(CMP)的開發(fā)和制造服務(wù).化學機械研磨(CMP)在半導體制造是關(guān)鍵的制程步驟.  
    SVTC技術(shù)公司今天宣布將與Entrepix合作,這項合作將提供SVTC使用徳州德克薩斯晶圓場Tool Access Program (TAP)客戶所需的所有300 mm化學機械研磨(CMP)的開發(fā)和制造服務(wù).化學機械研磨(CMP)在半導體制造是關(guān)鍵的制程步驟.  

    "這合作允許我們各自利用公司的專長. SVTC能夠提供具有整套過程和計量工具的最先進的制造環(huán)境, Entrepix則供應(yīng)豐富的CMP工程設(shè)計和操作的經(jīng)驗."SVTC的公司業(yè)務(wù)務(wù)發(fā)展副總理Dave Anderson說.  

    根據(jù)這協(xié)議,一切利用SVTC 300 mm Tool Access Program (TAP)的CMP程序處理,技術(shù)支持和顧客交接將由Entrepix的工程隊在SVTC廠址執(zhí)行--這外包方式是根據(jù)Entrepix在它亞利桑那州坦佩市半導體工廠所采用的方式.  
   
    "利用我們根據(jù)加速成本節(jié)省,發(fā)展周期和獲利時效(time to revenue)的原則,所設(shè)計的整套CMP ’快速前進’ (FastForward)的產(chǎn)品和服務(wù),在我們的坦佩市工廠我們已經(jīng)展示了外包CMP制程的明顯的益處。." Entrepix的執(zhí)行長Tim Tobin說. "通過與SVTC的合作,在其最先進的工廠擴大300mmCMP的服務(wù)使我們能夠?qū)ο冗M的尖端技術(shù)提供同樣的好處.”  

    外包CMP在增長中  

    在內(nèi)部資源收縮的情況下,降低成本和下一代產(chǎn)品的發(fā)展依然是半導體裝置和材料制造商的最高前提.因而外包CMP的趨向增長.在最近一篇"CMP Market Summary and Forecast Report"的報導,作市場分析的公司Laredo技術(shù)公司,預測CMP材料的總市場到公元2010年將超過美金17億元,.外包這復雜的CMP處理的步驟,可允許制造商利用所須的專門技術(shù)和制程資源.如果由制造商本身各自發(fā)展,這是非常昂貴,并且要花費很多時間.  

    SVTC將外包給Entrepix對其TAP的客戶提供CMP核心服務(wù),包括:實驗的計劃和支持,工程設(shè)計方式的監(jiān)督和實施,資料的分析和報告,并能進行測驗性的生產(chǎn)活動. SVTC的Tool Access Program (TAP)則提供廠商使用200套以上的工具.這些工具可以用來完成下列的過程--微影技術(shù)(lithography),蝕刻(etch),化學機械研磨(CMP),清洗(cleaning),涂刷(coating),和計量(metrology).  

    "SemiQuest公司已經(jīng)應(yīng)用SVTC最先進的的300 mm CMP TAP方案來發(fā)展我們最先進的CMP研磨墊."耗材供應(yīng)商SemiQuest的總經(jīng)理Rajeev Bajaj博士說. "他們另有的計量儀器和支援幫助我們縮短習用期間,節(jié)省費用.我們盼望這新合作能使SemiQuest建立成功的事業(yè)."  

    “DuPont Air Products NanoMaterials已經(jīng)同時利用SVTC的300mm CMP TAP方案以及Entrepix工廠和設(shè)備的服務(wù),對我們最先進CMP的泥漿產(chǎn)品作特性分析和研發(fā).”電子研磨產(chǎn)品的首要供應(yīng)商DA NanoMaterials ,的市場和業(yè)務(wù)發(fā)展副總理, Ajoy Zutshi說. “我們很興奮的聽到這新的協(xié)議,這協(xié)議達成的組合力將能進一步的使DA NanoMaterials給市場在同類問題帶來最佳解決方法.” 
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