【導(dǎo)讀】Axcelis獲亞洲存儲(chǔ)器廠薄膜固化與電荷擦除設(shè)備訂單  
    半導(dǎo)體制造設(shè)備供應(yīng)商Axcelis Technologies， Inc.日前宣布自一家亞洲大型存儲(chǔ)器芯片制造商獲得了多份RapidCure FC薄膜固化和RapidCure CE電荷擦除系統(tǒng)的訂單。訂購(gòu)的產(chǎn)品將于2007年首季度出貨并安裝于該存儲(chǔ)器芯片制造商的各晶圓廠。  

    Axcelis公司董事會(huì)主席兼CEO Mary Puma表示，該客戶的這份訂單證明了Axcelis專(zhuān)有的紫外固化技術(shù)對(duì)下一代器件開(kāi)發(fā)的價(jià)值。據(jù)悉，Axcelis的先進(jìn)紫外固化產(chǎn)品家族RapidCure擁有微波驅(qū)動(dòng)紫外光源，并搭載了數(shù)項(xiàng)能夠?yàn)榭蛻魩?lái)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)的先進(jìn)技術(shù)。 

    其中，RapidCure FC薄膜固化系統(tǒng)為提高和/或修改先進(jìn)半導(dǎo)體介質(zhì)薄膜的機(jī)械和電氣屬性，適用于當(dāng)前包括low-k、氮化硅薄膜固化以及電荷中和在內(nèi)的最先進(jìn)的紫外應(yīng)用領(lǐng)域。 

    RapidCure CE采用了快速而靈活的電荷擦除技術(shù)，相比傳統(tǒng)紫外擦除設(shè)備，其去除器件中累積電荷德時(shí)間縮短了10倍，而且擦除更為徹底，從而有助于閃存等非易失性存儲(chǔ)器芯片制造商提高產(chǎn)率并降低運(yùn)營(yíng)成本。