【導(dǎo)讀】布局CVD設(shè)備，海微芯儀舉行制造基地落成儀式   國產(chǎn)集成電路制造裝備企業(yè)又添生力軍         2007年02月06日，海微芯儀集成電路設(shè)備制造（北京）有限公司(簡稱“海微”)于北京天竺出口加工區(qū)舉行了制造基地落成儀式。來自信息產(chǎn)業(yè)部、北京市工業(yè)促進局、天竺開發(fā)區(qū)委的相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)，以及SMIC、HHNEC、上海貝嶺、Mattson等業(yè)界專家出席了典禮。 



　　2006年4月，一批留學(xué)美國并在集成電路設(shè)備制造業(yè)卓有成就的博士創(chuàng)建海微公司，作為一個集技術(shù)轉(zhuǎn)移的高新技術(shù)企業(yè)公司，海微努力在創(chuàng)新開發(fā)、生產(chǎn)制造、市場銷售、售后技術(shù)服務(wù)實現(xiàn)一體化。目前，主要產(chǎn)品為微米－納米級集成電路芯片量產(chǎn)的工作母機 - 6英寸和8英寸化學(xué)氣相成膜設(shè)備CVD。

      在我國新近發(fā)布的“十一.五”發(fā)展規(guī)劃綱要中，“新型硅基集成電路的制造工藝技術(shù)，核心集成電路裝備技術(shù)” 被定位為重大科技專項。 “在‘十一五’的第一年海微選擇落戶北京并得到了北京市政府及各級部門的

鼎力支持，同時被納入北京市政府重點扶持發(fā)展的國產(chǎn)集成電路制造裝備企業(yè)的行列。 目前，我國集成電路裝備產(chǎn)業(yè)大發(fā)展的契機為海微的騰飛提供了無限寬廣的前景，” 海微的總裁單洪清博士解釋說，同時他表示，“堅持‘自主創(chuàng)新、技術(shù)引進’的方針，依靠完全自主知識產(chǎn)權(quán)，海微最終目標(biāo)是成為國際一流的微電子制造裝備產(chǎn)業(yè)大公司。”

　　2005年底，海微從世界領(lǐng)先的集成電路設(shè)備制造公司美國Mattson公司取得PECVD產(chǎn)品的技術(shù)授權(quán)。據(jù)介紹，目前海微的目標(biāo)是通過聯(lián)合品牌將其推向市場，并以其尖端技術(shù)、低運營成本和高品質(zhì)技術(shù)支持服務(wù)于中國和全球客戶。可以欣喜的看到，國產(chǎn)集成電路制造裝備企業(yè)又增添了一支生力軍。

　　海微（北京）生產(chǎn)基地目前建有廠房2200平方米，含凈化空調(diào)間700多平方米，主要用于海微產(chǎn)品的大批量生產(chǎn)、新產(chǎn)品研發(fā)、性能演示和現(xiàn)有產(chǎn)品制造工藝技術(shù)的提升，現(xiàn)已具有50臺以上的CVD產(chǎn)品的年產(chǎn)能力。  　 

Mattson公司介紹

　　Mattson Technology是一個全球性的提供用于芯片制造的去膠和快速熱處理系統(tǒng)的創(chuàng)新者。其去膠和快速熱處理產(chǎn)品的全球市場占有率分別為第一位和第二位。公司2006年總銷售額高達2億8千萬美元。Mattson公司在業(yè)界以提供高生產(chǎn)率，低成本的產(chǎn)品而聞名于世。Mattson公司在技術(shù)上的不斷創(chuàng)新正在為全球客戶提供8〞和12〞晶圓芯片制造技術(shù)的卓越服務(wù)。其主要客戶涵蓋了排名前20位的全球芯片制造商， Mattson公司的產(chǎn)品正在全世界各地的芯片制造廠中高效運行。