【導讀】諾發(fā)系統(tǒng)獲臺積電優(yōu)秀供應商獎  
    諾發(fā)系統(tǒng)有限公司(Novellus Systems)近日宣布，該公司的VECTOR®系統(tǒng)在臺積電2006供應鏈管理論壇上獲得TSMC頒發(fā)的“2006年度優(yōu)秀CVD供應商獎”。350多家TSMC供應商參加了這次活動，諾發(fā)公司是獲得“2006年度優(yōu)秀供應商獎”殊榮的十一家公司之一。諾發(fā)公司的VECTOR 300mm等離子增強化學氣相淀積（PECVD）設備被半導體制造商所廣泛采用，用于高性能IC電介質(zhì)薄膜的淀積。該系統(tǒng)在薄膜技術上取得了諸多技術革新，同時具有很高的生產(chǎn)力，因此被TSMC所認可。  

    TSMC總裁兼CEO蔡力行博士說：“隨著我們在半導體產(chǎn)業(yè)領先地位的加強，供應商繼續(xù)為我們開發(fā)低成本和高效的設備、零部件和材料，從而使合作雙方進一步增強競爭力，共同邁向成功的未來?！?nbsp; 

    諾發(fā)系統(tǒng)有限公司電介質(zhì)事業(yè)部高級副總裁Tim Archer說：“諾發(fā)公司致力于為代工廠提供不斷改善的生產(chǎn)靈活性。由于VECTOR在薄膜技術上的技術革新和高效生產(chǎn)力，TSMC可以在同一工廠內(nèi)利用VECTOR進行多個工藝時代產(chǎn)品的生產(chǎn)。我們非常榮幸能夠獲得這一殊榮。我們將繼續(xù)努力與TSMC一起合作，為該公司在65nm以及65nm以下技術節(jié)點取得不斷成功提供有力的支持。”  
    
    諾發(fā)公司從2000年開始推出VECTOR系統(tǒng)，該系統(tǒng)能夠淀積雙嵌入式結(jié)構(gòu)所需的各種電介質(zhì)薄膜。VECTOR是全球裝機量最大的300mm CVD系統(tǒng)，前10大半導體公司中有9家公司采用了該系統(tǒng)。VECTOR設備最初是為130nm和90nm生產(chǎn)設計的，通過技術更新可以延伸到65nm技術節(jié)點，同時將產(chǎn)能提高達30%。