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[導(dǎo)讀]【導(dǎo)讀】東芝四日市工廠NAND閃存第4車間動工建設(shè) 東芝在其內(nèi)存生產(chǎn)基地四日市工廠(三重縣四日市市),開始建設(shè)支持300mm晶圓的NAND型閃存的新車間(以下稱為第4車間)。預(yù)計在2006年和2007年的2年內(nèi),東芝將

【導(dǎo)讀】東芝四日市工廠NAND閃存第4車間動工建設(shè)
    東芝在其內(nèi)存生產(chǎn)基地四日市工廠(三重縣四日市市),開始建設(shè)支持300mm晶圓的NAND型閃存的新車間(以下稱為第4車間)。預(yù)計在2006年和2007年的2年內(nèi),東芝將向第4車間投資約3000億日元。  

    第4車間預(yù)定在2007年7月建成。東芝計劃從2007財年三季度(07年10月~12月),以換算成晶圓的2500枚/月的規(guī)模開始量產(chǎn)NAND型閃存,到2008財年三季度(08年10月~12月)將規(guī)模擴大到6萬7500枚/月。制造工藝方面,最初將采用56nm級工藝,然后逐步導(dǎo)入新一代工藝。  
  
    車間的建設(shè)由東芝負責(zé),制造設(shè)備則由東芝與美國SanDisk合資的Flash Alliance(三重縣四日市市)負責(zé)引進。所用晶圓計劃均等地從東芝和SanDisk采購。  
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