【導(dǎo)讀】亮相臺灣地區(qū)Semicon 杜邦高管談全方位半導(dǎo)體解決方案  
    應(yīng)Semicon Taiwan 2006大會之邀，杜邦電子與通訊事業(yè)部副總裁暨技術(shù)長James Prendergast來臺參與半導(dǎo)體科技座談會(SEMI Technology Symposium)擔(dān)任主講人之一，揭示了杜邦在半導(dǎo)體制程的全方位服務(wù)，包括半導(dǎo)體設(shè)備中化學(xué)物的輸送管線、機(jī)材零件、以及制程中的材料零件；同時在半導(dǎo)體先進(jìn)制程的技術(shù)開發(fā)上，也提供符合客戶技術(shù)藍(lán)圖的解決方案。 

    James表示：“電子事業(yè)是杜邦邁入第三世紀(jì)發(fā)展的主要事業(yè)體之一，涵蓋四大產(chǎn)品線包括印刷電路材料(Printed circuit materials)、微電路材料(Microcircuit materials)、高效能材料(High performance materials)以及半導(dǎo)體制造材料(Semiconductor fabrication materials)。發(fā)揮杜邦在科學(xué)領(lǐng)域的專長，結(jié)合各事業(yè)體的綜效提供半導(dǎo)體制程中完整的材料及設(shè)備供應(yīng)鏈，目標(biāo)在成為客戶最佳的策略伙伴?！?nbsp;

    在新式浸潤微影技術(shù)(Immersion Lithography)，杜邦根據(jù)其技術(shù)藍(lán)圖，已開發(fā)出配合先進(jìn)32nm制程所需之浸潤液(Immersion Fluid)；在先進(jìn)半導(dǎo)體銅制程(Cusolve)方面，杜邦EKC則提供先進(jìn)的“蝕刻后殘余物清洗液”(Post-etch residue remover)，另外也自05年開始與杜邦其它部門HDMS&APL提供先進(jìn)晶圓級封裝所需的整合材料方案(Wafer Level Packaging)。 

    在電子聚合物(Electronic Polymer)的發(fā)展上，杜邦早已能提供各個世代所需的光阻液的樹脂；氟化事業(yè)部中，杜邦發(fā)表的Zyron 8020電氣，已成為半導(dǎo)體制程中廣為運(yùn)用的清潔氣體；Teflon則完整提供了半導(dǎo)體制程化學(xué)品輸送所需的高性能管件。 

    另外在化學(xué)機(jī)械研磨制程，有杜邦艾耳波達(dá)納米原料(DANM)，提供包括銅制程、鎢制程以及淺溝槽式制程所需的化學(xué)研磨液，以領(lǐng)先技術(shù)提供給在地客戶最直接的服務(wù)。在半導(dǎo)體應(yīng)力緩沖材料上，日立杜邦微系統(tǒng)(HDMS)，擁有廣泛的產(chǎn)品線，是全球主要的PI(聚亞醯胺)供貨商。