韓國多建科技Dageon成立于2000年，董事長Mr.Son早先于LGSilitron擁有12年的工作經(jīng)驗，對于大部分的制造機器都必須要從國外進口，因此抱著致力于貢獻藍寶石基板市場發(fā)展，所以開始研發(fā)設計生產(chǎn)機器。

Dageon在產(chǎn)品設計上,發(fā)展了一系列基板生產(chǎn)線的設備，用于藍寶石基板市場發(fā)展，包含有全自動陶盤清洗機(BlockCleaner)、全自動陶盤晶片免下蠟清洗機(DMPCleaner)、全自動上蠟機(AutoMounter)、全自動下蠟機(AutoDemounter)、Scrubber、SpinDryer等等。并擁有陶瓷盤清洗專利。看好4~6寸LED市場發(fā)展，Dageon對于2014年相當看好全自動上蠟機(AutoMounter)和全自動陶盤晶片免下蠟清洗機(DMPCleaner)設備的市場應用。全自動上蠟機(AutoMounter)包含圓盤裝載、上蠟、卸載;全自動陶盤晶片免下蠟清洗機(DMPCleaner)設備包含圓盤裝載、洗凈清潔、卸載。

全自動陶盤晶片免下蠟清洗機為晶片鉆石研磨液研磨后，使用高壓水柱和化學藥劑刷洗,來清洗藍寶石基板表面的殘留化學研磨液.由于許多客戶在大尺寸制程生產(chǎn)時,將原本CMP使用的Template方式改成貼蠟式,來達到更好的TTV和翹曲BOW的控制,此設備就成為DMP制程至CMP制程的中段銜接清洗設備,須將鉆石研磨液徹底做清潔,以防CMP制程時前段殘留的鉆石研磨液造成晶片研磨刮傷,所以DMP之后的清潔更是重要.目前設備主要目標市場為4~6寸晶圓生產(chǎn)以上的客戶,對于產(chǎn)品品質(zhì)清潔有絕對提升效能。

對于LED市場發(fā)展，由于晶片廠商考慮到4~6寸藍寶石基板品質(zhì)及成本優(yōu)勢，因此Dageon同時自制研發(fā)銷售4~6寸藍寶石基板專用全自動上蠟設備，自動化生產(chǎn)流程，從傳送、上蠟、接合、烘烤、壓合;以485mm陶盤來計算產(chǎn)能,2寸一圈可貼23片(每月產(chǎn)能約6萬片以上),4寸一圈可貼10片(每月產(chǎn)能約5萬片)，6寸外圈可貼6片(每月產(chǎn)能約4萬片)，這對于后段研磨拋加工制程品質(zhì)控制有絕對的效益,相對產(chǎn)能提升更能突顯出來。

將藍寶石基板從DMP或CMP加工后的陶盤上,藉由陶盤加熱,將液態(tài)蠟融化之后,進行晶片與陶盤分離的拆卸設備。

洗刷機為清洗藍寶石基板表面粒子的設備。晶片從清洗、甩干、傳送到Loader，由于不需使用化學藥劑，只需使用DIWater，相當?shù)墓?jié)省成本。

目前上述各項機臺皆有使用客戶群，韓國客戶包含LGSilitron、STA、Iljin、Hansol。中國客戶則包含蘇州海鉑(Hyperion)、重慶四聯(lián)(SILIAN)、南晶京晶(NJC)、貴州皓天(HTOT)、華樂光電(Huale)等。因應未來市場4~6寸的發(fā)展，Dageon仍持續(xù)提升設備技術(shù)，希望能提高生產(chǎn)速度和降低設備上耗材使用的成本,來滿足更多LED藍寶石上游生產(chǎn)制造的客戶們。