[導讀]昭和電工2013年9月30日宣布確立了6英寸SiC外延晶圓的量產化技術。該公司從2013年年初就開始提供該晶圓的樣品,此次確立了量產化技術,從10月份開始設定產品性能參數(shù)、正式展開銷售。據(jù)介紹,6英寸產品適于降低元件成
昭和電工2013年9月30日宣布確立了6英寸SiC外延晶圓的量產化技術。該公司從2013年年初就開始提供該晶圓的樣品,此次確立了量產化技術,從10月份開始設定產品性能參數(shù)、正式展開銷售。
據(jù)介紹,6英寸產品適于降低元件成本,也適合量產載流量達到100A的SiC元件,通過此次的產品,預計SiC元件將被大量用于純電動汽車和混合動力車。而且,昭和電工此次還宣布,在4英寸產品中開發(fā)出了缺陷率更低、均勻性更高的新級別產品。該4英寸產品也將從2013年10月開始銷售。
今后,昭和電工將進一步提高產品質量、增強產能。2014年上半年將把目前按4英寸產品換算為1500塊的月產能提高至2500塊,從而推動SiC功率半導體的普及。
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