國際測試大會（ITC2003）將于9月29日舉行，今年的焦點將轉(zhuǎn)移到測試工程師日漸關注的微機電系統(tǒng)技術(shù)（MEMS）上。ITC2003將安排兩場MEMS講演，其中介紹性的研討專場將包含MEMS器件的加工。來自Sandia國家實驗室和卡內(nèi)基梅隆大學的工程師的演講將涵蓋MEMS器件的設計、加工和行業(yè)應用。另一場MEMS測試會議將探討MEMS器件的失效機制。在失效信息的基礎上，演講者將詳細闡述MEMS器件的測試。本年度大會的主題是“突破測試接口瓶頸”，演講題目范圍從納米技術(shù)到系統(tǒng)測試。本文摘自《半導體技術(shù)》