Therma-Wave獲得Tokyo-Electron高級關(guān)鍵尺寸測量應(yīng)用的復(fù)合系統(tǒng)訂單Therma-Wave公司是制程控制測量系統(tǒng)設(shè)備中需要用到的半導(dǎo)體開發(fā)、制造及銷售公司宣布Tokyo Electron Limited(TEL)再次下單訂購多套Therma-Wave集成化測量工具。Therma-Wave的高級INTEGRAR CCD-i關(guān)鍵尺寸(CD)測量工具將配合TEL CLEAN TRACK ACT TM與CLEAN TRACKTM．LITHIUSTM涂裝／顯影機使用，進行90nm與65nm技術(shù)的深度開發(fā)與生產(chǎn)。去年末，Therma-Wave與TEL宣布將共同致力于CD測量技術(shù)的開發(fā)及產(chǎn)品制造，以期滿足這一區(qū)域不斷增長的客戶需要以及蓬勃發(fā)展的市場機遇。本文摘自《半導(dǎo)體技術(shù)》