[導(dǎo)讀]科研人員在半導(dǎo)體制程設(shè)備與技術(shù)上取得一項(xiàng)突破，被譽(yù)為“半導(dǎo)體電漿制程測(cè)漏尖兵”的“微型光譜即時(shí)偵測(cè)器”由臺(tái)灣精密儀器發(fā)展中心宣布研發(fā)成功。本文摘自《半導(dǎo)體技術(shù)》