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[導(dǎo)讀]吉時(shí)利儀器(Keithley Instruments)宣布推出可發(fā)生與測(cè)量脈沖的Model 4200-SCS半導(dǎo)體特性測(cè)量系統(tǒng)——PIV (Pulse I-V)套件。這是該公司Model 4200-SCS新增的選購(gòu)套件,可執(zhí)行實(shí)驗(yàn)室級(jí)的直流元件特性測(cè)量及實(shí)時(shí)制圖,并

吉時(shí)利儀器(Keithley Instruments)宣布推出可發(fā)生與測(cè)量脈沖的Model 4200-SCS半導(dǎo)體特性測(cè)量系統(tǒng)——PIV (Pulse I-V)套件。這是該公司Model 4200-SCS新增的選購(gòu)套件,可執(zhí)行實(shí)驗(yàn)室級(jí)的直流元件特性測(cè)量及實(shí)時(shí)制圖,并以高精密度和sub-femto安培的分辨率進(jìn)行分析,適用如高K值材料、熱敏元件及高階內(nèi)存等。該公司表示,當(dāng)半導(dǎo)體科技發(fā)展到65nm節(jié)點(diǎn)及更高階,測(cè)量技術(shù)除了直流輸出-測(cè)量之外,必須更有效地測(cè)量新材料與新元件的特性,因?yàn)橹T如高K電荷捕獲及SOI (solicon on insulator)元件會(huì)自我發(fā)熱。雖然研發(fā)者已認(rèn)識(shí)到脈沖測(cè)試的重要性,但卻沒(méi)有商品化的解決方案可執(zhí)行簡(jiǎn)易、精確及可重復(fù)性的脈沖測(cè)量。Model 4200-SCS PIV套件具有脈沖功能,整合了脈沖發(fā)生、脈沖測(cè)量,并結(jié)合申請(qǐng)專(zhuān)利中的軟件及簡(jiǎn)化的待測(cè)元件導(dǎo)線(xiàn)連結(jié),提供有效解決方案。用戶(hù)不需使用一堆設(shè)備來(lái)測(cè)量、連接復(fù)雜的線(xiàn)路,或使用自行發(fā)展的軟件及不準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。PIV套件是建構(gòu)在新的雙頻道脈沖發(fā)生卡,其特點(diǎn)是兩個(gè)獨(dú)立的頻道,具有1Hz至50MHz的頻率范圍。可產(chǎn)生一個(gè)只有10納秒(nanoseconds)的脈沖,可對(duì)SOI元件及其它65nm以下的元件及工藝實(shí)現(xiàn)等溫脈沖測(cè)量,其脈沖邊緣對(duì)于電荷捕獲、AC應(yīng)力測(cè)試、和儲(chǔ)存器件測(cè)試,可精確輸出與測(cè)量。用戶(hù)可以控制數(shù)個(gè)脈沖參數(shù),如脈沖寬度、工作周期、上升與下降時(shí)間、振幅和偏移量。該套件組合中的軟件也可以控制脈沖的設(shè)定,并驅(qū)動(dòng)雙信道脈沖產(chǎn)生器,觸發(fā)及執(zhí)行脈沖測(cè)量,搜集和顯示數(shù)據(jù)。PIV套件中還包括執(zhí)行pulse IV和電荷捕獲的測(cè)試程序示例,可節(jié)省軟件研發(fā)時(shí)間及成本。此外,雙頻道脈沖發(fā)生卡也可當(dāng)作一個(gè)集成在Model 4200-SCS上的脈沖發(fā)生器。一般用途脈沖發(fā)生器適合應(yīng)用于失誤分析、電荷泵、閃存測(cè)試及時(shí)鐘發(fā)生。脈沖發(fā)生卡包含的軟件具備易用的圖形操作界面。
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