精工愛(ài)普生和Santee公司現(xiàn)已使用MEMS技術(shù)，面向光通信領(lǐng)域開(kāi)發(fā)出新型波分濾波器。主要面向采用波分復(fù)用裝置（WDM）的長(zhǎng)距離通信用波長(zhǎng)監(jiān)視設(shè)備等。設(shè)備尺寸將會(huì)大大小于使用棱鏡和AWG等裝置的老式濾波器。 此次開(kāi)發(fā)的濾波器可在1520nm～1600nm的光波長(zhǎng)之間，對(duì)需要濾波的中心波長(zhǎng)進(jìn)行控制。濾波器的工作原理是：通過(guò)控制前級(jí)激光振蕩器常用的FP（Fabri Perrot）型共振器長(zhǎng)度，對(duì)在共振器中反復(fù)反射的光波波長(zhǎng)進(jìn)行控制。只有反復(fù)反射后得到放大的光才能通過(guò)濾波器。共振器的長(zhǎng)度通過(guò)在2枚共振板之間施加電壓來(lái)控制。共振器有一個(gè)反射面是很薄的硅底板，能夠像揚(yáng)聲器振動(dòng)板一樣運(yùn)動(dòng)。另一個(gè)反射面利用玻璃底板進(jìn)行固定。 驅(qū)動(dòng)速度高達(dá)1kHz以上。芯片尺寸為5mm見(jiàn)方。光必須通過(guò)反射板和硅底板，才能從共振器中通過(guò)。不過(guò)，即便包括這里的損耗，整個(gè)插入損耗也只有3dB。