據(jù)Semiconductor Reporter網(wǎng)站報道，Rudolph技術(shù)公司日前推出其S3000（300毫米）及S2000（200毫米）透明薄膜檢測系統(tǒng)。該系統(tǒng)基于橢偏光檢測原理，適用于大部分透明薄膜檢測。據(jù)該公司表示，該系統(tǒng)將為薄膜工藝、CMP工藝以及光刻工藝提供高產(chǎn)出、低成本的薄膜測量。該系統(tǒng)集成了Rudolph公司第五代橢偏光檢測系統(tǒng)，以及長期穩(wěn)定的激光光源。該系統(tǒng)提供可選的深紫外光和可見光兩種方案。所有這些組件集成在Rudolph的Vanguard平臺上。