據(jù)EE Times網(wǎng)站報(bào)道，KLA-Tencor Corp.近期在Semicon West展會(huì)上宣布，將放棄其無(wú)電淀積成果并停止CD-SEM的研發(fā)和其金屬薄膜測(cè)試產(chǎn)品，目標(biāo)進(jìn)一步加強(qiáng)其重點(diǎn)項(xiàng)目的研發(fā)。在2003年KLA-Tencor發(fā)布了其在線非接觸式金屬薄膜測(cè)試工具，該設(shè)備基于電子束技術(shù)開(kāi)發(fā)，被命名為MetriX 100的設(shè)備，與該領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者Rudolph Technologies Inc.形成了競(jìng)爭(zhēng)。在2004年KLA-Tencor與日本Dainippon Screen Manufacturing Co. Ltd.組建了一個(gè)商業(yè)化無(wú)電銅淀積合資經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目，其合作包含Blue29。起初由KLA-Tencor進(jìn)行風(fēng)險(xiǎn)投資，后來(lái)Blue29成為了KLA-Tencor與Dainippon Screen的合資公司。