據(jù)Semiconductor Reporter網(wǎng)站報道，Olympus Integrated Technologies America近期發(fā)布了一款新型300mm圓片光學(xué)全頂、邊緣、傾角和背端缺陷檢測系統(tǒng)。該公司以前的檢測系統(tǒng)不含有傾角檢測能力，傾角檢測將通過連續(xù)角度調(diào)節(jié)實現(xiàn)最佳成像和缺陷探測。AL3300光學(xué)檢測、缺陷探測系統(tǒng)可以實現(xiàn)每小時180圓片的產(chǎn)能，同時具有較小的和靈活的占地面積。該公司表示，精細(xì)觀察可以在多種波長照明下完成，例如探測玷污、擦痕等缺陷和薄膜厚度變化等微缺陷。通過微型照相機可以自動獲得圓片的1X圖像。AL3300完全適用于GEM300系統(tǒng)，以實現(xiàn)用戶自動設(shè)備的無損傷檢測。