InGaAs線列探測器對航空航天領(lǐng)域影響深遠(yuǎn)
近日,中科院長春光學(xué)精密機械與物理研究所宋航研究員主持的重點項目“室溫工作的高In組分短波InGaAs線列探測器材料與器件研究” 通過項目結(jié)題驗收。專家組由來自我國材料科學(xué)界知名專家組成,基金委領(lǐng)導(dǎo)和工程與材料科學(xué)部領(lǐng)導(dǎo)參加了重點項目結(jié)題驗收會,這些專家由國家自然科學(xué)基金委員會工程與材料科學(xué)部組織。
本項目歷時四年的努力,主要針對高In組分InGaAs紅外探測器結(jié)構(gòu)材料的MOCVD生長、晶格失配缺陷的抑制、紅外探測器材料與器件工藝的優(yōu)化、探測器線列焦平面的研制與集成等方面開展了深入系統(tǒng)的研究。提出兩步生長法并引入熱退火過程抑制大晶格失配InGaAs材料的制備方法;成功獲得大尺寸、高質(zhì)量InGaAs紅外探測器結(jié)構(gòu)材料;成功獲得了256×1的延長波長InGaAs線列焦平面探測器。四年中,項目組在國內(nèi)外學(xué)術(shù)期刊和學(xué)術(shù)會議上發(fā)表論文50篇,申請發(fā)明專利5項,授權(quán)發(fā)明專利2項。高In組分InGaAs紅外光電探測器在國民經(jīng)濟建設(shè)和航空航天領(lǐng)域具有重要應(yīng)用。該項目的驗收成功對我國航空航天領(lǐng)域發(fā)展具有深遠(yuǎn)影響和意義。

(結(jié)題驗收會現(xiàn)場)





