近日，“傳感器測試關(guān)鍵共性技術(shù)研究”、“光密度連續(xù)變化濾光器件”、“SOI壓力傳感器制造工藝研究” 三項(xiàng)科研項(xiàng)目的科技成果鑒定會議在沈陽召開。專家組對這三項(xiàng)目給予了較高評價，對項(xiàng)目完成的質(zhì)量給予了充分地肯定，并建議在現(xiàn)有基礎(chǔ)上不斷地發(fā)揮自身優(yōu)勢，進(jìn)一步推廣應(yīng)用并擴(kuò)展應(yīng)用領(lǐng)域。

據(jù)悉，“傳感器測試關(guān)鍵共性技術(shù)研究”為科技部十一五支撐計(jì)劃項(xiàng)目，“光密度連續(xù)變化濾光器件”、“SOI壓力傳感器制造工藝研究”均為科技部科研院所技術(shù)開發(fā)研究專項(xiàng)資金項(xiàng)目。“傳感器測試關(guān)鍵共性技術(shù)研究”項(xiàng)目突破了高性能傳感器“試驗(yàn)裝置高效高壓多波形控制”、“批量檢測系統(tǒng)弱信號檢測”、“可靠性強(qiáng)化試驗(yàn)”等關(guān)鍵技術(shù)，達(dá)到了國際先進(jìn)水平，對推動行業(yè)技術(shù)進(jìn)步，增強(qiáng)產(chǎn)品市場競爭力，具有重要作用。“光密度連續(xù)變化濾光器件”項(xiàng)目開展了中性漸變薄膜的設(shè)計(jì)與制造工藝研究，研制出線性度和中性度良好的光密度連續(xù)變化濾光器件，線性度、中性度均達(dá)到±5%。研制開發(fā)的濾光器件，填補(bǔ)了國內(nèi)空白，并已實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)?！癝OI壓力傳感器制造工藝研究”項(xiàng)目開展了SOI壓力傳感器制造工藝的研究，建起具有自主技術(shù)和知識產(chǎn)權(quán)支撐的高溫SOI壓力傳感器制造技術(shù)平臺，實(shí)現(xiàn)耐高溫SOI壓力傳感器批產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性，填補(bǔ)了國內(nèi)空白，具有廣大的應(yīng)用潛力和發(fā)展前景。