近日，“高固有頻率納米膜壓阻加速度傳感器研究”項目獲得立項批復(fù)，項目總經(jīng)費78萬元。

該項目由沈陽儀表研究院與沈陽工業(yè)大學聯(lián)合申報，執(zhí)行年限為2014年1月至2017年12月。該項目將設(shè)計一種MEMS加速度傳感器，帶有主梁和超薄敏感微梁，主要基于納米功能材料來實現(xiàn)。

該MEMS加速度傳感器的靈敏度和溫度特性大大得到提升，主要得益于納米膜壓阻微梁之超常的機械特性，以及良好的壓阻特性。目前加速傳感器中普遍存在著諧振頻率與靈敏度相互制約的難題，而如何解決這一難題成為業(yè)內(nèi)的一大挑戰(zhàn)。該項目將通過對該敏感結(jié)構(gòu)之主梁和微梁的合理設(shè)計，解決該難題，并實現(xiàn)均衡提高固有諧振頻率和靈敏度。

研究人員將突破微梁加工和芯片鈍化、封裝等關(guān)鍵技術(shù)，研制出新型加速度傳感器樣品，并對其可行性和優(yōu)勢進行驗證。該項目對于推進我國在隧道壓阻效應(yīng)、納米復(fù)合膜微梁力學特性以及新型加速度傳感器技術(shù)等方面的研究具有重要意義，并為更深入和廣闊的應(yīng)用提供了可能。