中國北京2016年12月27日訊 –前不久，國務(wù)院印發(fā)的《“十三五”國家科技創(chuàng)新規(guī)劃》中，明確提出將發(fā)展先進功能材料技術(shù)，以及新一代信息技術(shù)作為全國科研隊伍下一階段的工作方向。事實上，隨著科技的進步，材料產(chǎn)業(yè)在工業(yè)發(fā)展中發(fā)揮著越來越重要的作用，近年來氮化鎵、砷化鎵、石墨烯等新型材料在集成電路技術(shù)、新能源等領(lǐng)域帶來革命性的發(fā)展機會。在此背景下，泰克科技公司近日在重慶成功舉辦了“新型材料、器件與半導(dǎo)體集成電路測試測量技術(shù)研討會” ，希望促進新材料技術(shù)科研與產(chǎn)業(yè)的對話，促成材料與器件產(chǎn)業(yè)鏈良性互動發(fā)展。

產(chǎn)業(yè)鏈合力迎接材料和器件技術(shù)發(fā)展新趨勢

以新材料和器件測試為主題的專家演講分享、會后深度互動為大家提供了卓有成效的交流平臺。

本次會議正是順應(yīng)新時期的大背景，成功加強了全國相關(guān)領(lǐng)域產(chǎn)學(xué)研隊伍的交流、提供學(xué)術(shù)界與產(chǎn)業(yè)界相互分享最新研究成果的機會，為下一階段工作打下堅實的基礎(chǔ)。來自北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、大連理工大學(xué)、中國科學(xué)院化學(xué)研究所、中科大微納加工中心、西安電子科技大學(xué)、成都海威華芯科技有限公司等多家知名高校、研究所和企業(yè)專家代表共同出席了會議。

“新型材料、器件與半導(dǎo)體集成電路測試測量技術(shù)研討會”特別邀請了來自蘇州大學(xué)納米學(xué)院的揭建勝教授，來自中國科學(xué)院微電子研究所硅器件與集成技術(shù)研究室副研究員曾傳濱，以及泰克資深專家作為主講嘉賓，共同分享了先進材料研究成果以及運用半導(dǎo)體特征分析系統(tǒng)進行器件、材料和半導(dǎo)體工藝電學(xué)特性分析中遇到的挑戰(zhàn)和解決思路。會議的互動交流環(huán)節(jié)，大家對當(dāng)前熱門新材料的發(fā)展?fàn)顩r、技術(shù)挑戰(zhàn)和解決思路，以及市場反饋等話題展開卓有成效的交流。

“在泰克科技中國團隊與企業(yè)客戶交流中，深感行業(yè)內(nèi)亟待有合適的新型材料、器件與半導(dǎo)體集成電路在測試測量環(huán)節(jié)的產(chǎn)業(yè)互動平臺。”泰克科技高端產(chǎn)品市場經(jīng)理沈鼐叡說道，“作為擁有非常良好的產(chǎn)學(xué)研核心客戶資源的測試測量解決方案提供商，我們相信泰克可以扮演這樣的角色，在2016年初規(guī)劃本次研討會，陸續(xù)收到業(yè)界非常積極的反饋和支持。”

“感謝泰克舉辦本次研討會，作為企業(yè)我們希望了解新材料技術(shù)、新器件技術(shù)的發(fā)展趨勢以及技術(shù)解決方案，更重要的是能借助這樣的平臺與同業(yè)專業(yè)人士深度互動交流，兩天時間大家碰撞出了不少火花。” 海威華芯科技的參會代表會后指出。一整天的會議課程以及另外一天的學(xué)習(xí)、參觀以及交流活動，大家收獲滿滿但卻意猶未盡，會后大家一致意見希望這個交流平臺能持續(xù)開展。沈鼐叡表示泰克科技計劃以后每一年將舉辦一次這樣的產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)學(xué)研專家、學(xué)者和工程師交流會，明年會邀請更多重量級專家和企業(yè)代表與會。

新材料帶來的新器件技術(shù)突破、機遇與挑戰(zhàn)

揭建勝教授長期致力于低維半導(dǎo)體納米結(jié)構(gòu)的制備、表征及應(yīng)用研究，探索納米材料在新一代電子、光電子、能源等重要領(lǐng)域的應(yīng)用。會上，揭建勝教授所發(fā)表的“有機微納單晶圖案陣列化及高性能光電器件”主題演講。他深度分享了有機單晶材料在器件制造中的應(yīng)用，并分享了在實際應(yīng)用中的挑戰(zhàn)以及其團隊在高性能光電器件應(yīng)用中，基于小分子有機微/納米晶體(SMOC)技術(shù)的應(yīng)對策略。

“摩爾定律的驅(qū)動，集成電路制造技術(shù)不斷巧妙的突破物理極限，HKMG及FinFET等技術(shù)都已經(jīng)成熟地產(chǎn)業(yè)化，并已帶領(lǐng)行業(yè)來到7nm制程節(jié)點。” 揭建勝在演講中指出，“而有機材料的探索是一個重要的方向，我們認(rèn)為SMOC已經(jīng)是高性能光電器件的重要基礎(chǔ)材料，目前已經(jīng)開發(fā)出來兩種SMOC大規(guī)模生產(chǎn)的方法，可以實現(xiàn)非常棒的一致性和可重復(fù)生產(chǎn)能力。”新型器件的特性或失效機制，器件可靠性上的新的退化機理與理論模型等諸多方面的研究成果都為下一個制程的器件研發(fā)提供了指導(dǎo)方向。

專家就材料與器件研究中的理論、方法和經(jīng)驗在多個專題演講中進行了深度的探討和分享。

新材料及半導(dǎo)體器件的測試挑戰(zhàn)是大家共同面對的問題，也是本次會議的另一大主題。在實際研發(fā)工作中，設(shè)計者都面臨投產(chǎn)周期越來越短，參數(shù)提取、仿真與測量的難度越來越高等等諸多挑戰(zhàn)。曾傳濱研究員在主題為“如何提高半導(dǎo)體IV特性測試穩(wěn)定性”的演講中以具體的案例分析了解決這些挑戰(zhàn)的測試建議。演講中，曾傳濱結(jié)合泰克4200-SCS參數(shù)分析儀就探針臺的配置、測試系統(tǒng)設(shè)置進行了分享，并就測試中探針臺對測試可能產(chǎn)生的影響、測試線纜可能產(chǎn)生的影響等專業(yè)要點進行了分析。

除了行業(yè)專家的精彩分享，泰克專家與參會者共同探討了“新型材料與器件的研究成果”以及“突破與挑戰(zhàn)-半導(dǎo)體集成電路發(fā)展交流”。泰克資深技術(shù)應(yīng)用經(jīng)理趙詠梅在演講中指出，業(yè)界對新材料的研究一直在不懈地進行，像揭建勝教授所領(lǐng)導(dǎo)的團隊所涉足的如碳納米管材料，以及當(dāng)前引起全球廣泛關(guān)注的石墨烯的研究，業(yè)界都已經(jīng)獲得一些技術(shù)突破，為器件性能的提升帶來了新的希望。演講中，泰克專家還分享了為應(yīng)對更嚴(yán)苛的工作環(huán)境，業(yè)界對寬禁帶半導(dǎo)體、超導(dǎo)材料及新型光電材料等等領(lǐng)域的研究現(xiàn)狀。趙詠梅還指出，“另一方面，面對像物聯(lián)網(wǎng)，可穿戴設(shè)備應(yīng)用等這些來自于消費類電子市場的新需求，基于有機材料的半導(dǎo)體器件，以及電化學(xué)領(lǐng)域中新型儲能材料的研究也迅速的發(fā)展。”。

作為在微電子和半導(dǎo)體材料研究領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用的4200-SCS參數(shù)分析儀，一直在材料和集成電路研發(fā)中給專業(yè)人士極大的幫助，也成為兩天會議中大家討論交流最多的話題之一。主辦方泰克科技也在本次大會的同期開展了4200-SCS參數(shù)分析儀應(yīng)用技術(shù)文章征集活動，被錄取的文章將獲得獎勵并錄入成冊成為新材料及集成電路參數(shù)性能測試分析的非常有價值的參考文獻。