MEMS主要包括微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等幾部分，它是在融合多種微細(xì)加工技術(shù)，并應(yīng)用現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的高科技前沿學(xué)科。

MEMS產(chǎn)品早在1980年就已經(jīng)存在了，近年來，使用MEMS技術(shù)的半導(dǎo)體產(chǎn)品的需求及用途大幅增加。據(jù)IHS iSuppli公司的MEMS市場簡報(bào)，在高價(jià)值的軍用與航空領(lǐng)域，MEMS壓力傳感器市場今年將以兩位數(shù)的速度強(qiáng)勁增長，而且將來在多個(gè)利潤豐厚的應(yīng)用領(lǐng)域有充足的擴(kuò)張空間。

今年軍用與民用航空領(lǐng)域的壓力傳感器營業(yè)收入將達(dá)到3570萬美元，比去年的2970萬美元增長20%。雖然來自這兩個(gè)領(lǐng)域的MEMS壓力傳感器營業(yè)收入相對較小，而且不能與汽車或消費(fèi)領(lǐng)域的MEMS營業(yè)收入相提并論，但未來幾年可以保證穩(wěn)步增長，尤其是因?yàn)轷r有其它器件可以承受其極端的工作環(huán)境。

在軍用方面，遠(yuǎn)程空中與海上力量繼續(xù)受重視，無人機(jī)、監(jiān)視與偵察或智能武器也是發(fā)展重點(diǎn)，這將促進(jìn)武器中電子內(nèi)容的提升。美國政府的軍隊(duì)小型化與智能化計(jì)劃，將來會(huì)涉及到規(guī)模的削減，但只有部隊(duì)與人員會(huì)受到影響，而武器系統(tǒng)則不會(huì)受到影響。

而在民用航空方面，由于歐洲EADS的空客A320及美國波音787夢想寬體客機(jī)的強(qiáng)勁需求，去年開始的復(fù)蘇仍在持續(xù)進(jìn)行。EADS與波音都收到了超過2000架的大飛機(jī)訂單，幫助今年商業(yè)航空增長24%。

總體來看，MEMS壓力傳感器必須能承受惡劣環(huán)境下的劇烈震動(dòng)、高G過載影響與加速度、極端溫度與高壓。軍用與航空應(yīng)用通常是這類極端環(huán)境。另外，傳感器還必須在這種困難環(huán)境下表現(xiàn)出完美的性能，具有高精度、低漂移和長期穩(wěn)定性。必須在非常小的封裝內(nèi)滿足這些苛刻要求，而且重量要輕。從這些方面來看，MEMS壓力傳感器能夠主宰軍用與航空領(lǐng)域。