21ic訊，應用材料公司今天發(fā)布了兩款新系統(tǒng)：AKT-20K™ TFE PECVD*和Applied AKT-40K™ TFE PECVD，主要面向高解析度、輕薄型電視和移動設備的柔性OLED顯示屏幕的批量生產(chǎn)，能有效沉積薄膜封裝阻隔層，對保護敏感性極高的OLED器件具有重要意義，成為材料工程領域的又一項重大突破。這兩款新系統(tǒng)能幫助顯示器制造商替代設備前方的剛性絕緣玻璃，開發(fā)出適用于新一代消費電子產(chǎn)品的可彎曲的和曲面顯示屏。

OLED屏幕憑借鮮艷亮麗的色彩和低能耗特性已在智能手機中得到迅速普及，其中柔性OLED是移動通信領域增長最迅猛的顯示設備。

全新的薄膜封裝(TFE)系統(tǒng)(925 x1500毫米基板為20K，1250 x2200毫米基板為40K)面向不同的顯示細分市場，可以更靈活地滿足各類大、小尺寸的更加輕薄型柔性OLED顯示設備不斷增長的需求。

應用材料公司副總裁兼顯示事業(yè)部總經(jīng)理謝思源博士表示：“隨著顯示器尺寸、解析度、畫質(zhì)和外形的改進，為顯示設備制造商創(chuàng)造了巨大的市場機遇，將有更多新柔性顯示產(chǎn)品推向市場。柔性OLED必須有一定的結(jié)實度，才能滿足消費者在日常生活中的需求。目前已投產(chǎn)的Applied AKT-20KTFE系統(tǒng)能讓面板廠商加快推出柔性和曲面移動顯示設備，未來這將改變我們每天使用的電子產(chǎn)品的外觀。”

Applied AKT TFE產(chǎn)品線的主要特色在于其能提供極低透水和透氧性的擴散阻擋薄膜，從而大幅提升OLED的使用壽命。這些高性能薄膜都在100℃以下的環(huán)境中沉積，解決了OLED材料在暴露于外部環(huán)境中易于降解的問題。此外，該系統(tǒng)采用獨特的視覺對準技術(shù)，保證了精準的掩膜定位和沉積，使顯示設備制造商能減少光刻和蝕刻工序，從而降低生產(chǎn)成本。

*TFE=薄膜封裝; *PECVD=等離子體增強化學氣相沉積