[導讀]KLA-Tencor 公司推出最新型疊對測量系統(tǒng) Archer 200,它包含一個能夠顯著改善性能的增強型光學系統(tǒng),這對于幫助客戶在 32 納米設(shè)計規(guī)格節(jié)點達到雙次成圖光刻更嚴格的疊對要求至關(guān)重要。
KLA-Tencor 公司推出最新型疊對測量系統(tǒng) Archer 200,它包含一個能夠顯著改善性能的增強型光學系統(tǒng),這對于幫助客戶在 32 納米設(shè)計規(guī)格節(jié)點達到雙次成圖光刻更嚴格的疊對要求至關(guān)重要??蛻暨€可以選擇在 Archer 200 上增加 KLA-Tencor 先進的散射測量技術(shù),以在達到其特定的 32 納米及更小線距測量要求中提供更大的靈活性。
KLA-Tencor 疊對測量部的副總裁兼總經(jīng)理 Ofer Greenberger 表示:“32 納米設(shè)計的疊對預算被拉到極限,特別是采用雙次成圖技術(shù),并且芯片制造商正在尋求提高其疊對系統(tǒng)的精度與速度。我們新的 Archer 200 系統(tǒng)延伸了我們熟知的光學成像技術(shù)的性能優(yōu)勢,可滿足 32 納米光刻控制的所有層要求,并且其許多增強功能都可以在安裝的 Archer 的廣大客層上進行升級,以獲得最大投資回報?!?nbsp;
作為 KLA-Tencor 持續(xù)關(guān)注先進成像技術(shù),以推動公司疊對路線圖向前發(fā)展的一部分,其工程師對 Archer 200 系統(tǒng)的核心光學設(shè)計進行了重大改進。與上一代 Archer 系統(tǒng)相比,這些開發(fā)成果讓機臺匹配度提高 50% 以上,產(chǎn)能提高 25%。匹配是疊對測量中的一個關(guān)鍵衡量標準,因為不同系統(tǒng)必須實現(xiàn)幾乎完全相同的層對準。這個更強的光學系統(tǒng)還有一個重新設(shè)計的光路,能夠通過更多的光,因為測量越快,產(chǎn)能就越高。新的相機管理算法可以加速系統(tǒng)作業(yè)并降低噪音,進一步提高產(chǎn)能和精確度。
32 納米設(shè)計規(guī)格節(jié)點為疊對測量帶來了兩項獨特挑戰(zhàn):更高的芯片密度及光刻雙次成圖。為了克服這兩項挑戰(zhàn),客戶必須增加疊對抽樣,并更加高效地使用先進的疊對目標。Archer 200 讓芯片制造商能夠使用業(yè)界標準 AIM™ 目標,或者甚至能夠被插入芯片自身內(nèi)部不同位置的更小的“微 AIM (µAIM™)”目標。這種更強的疊對目標能力能夠?qū)崿F(xiàn)最大的掃描曝光機對準,由此帶來最大的設(shè)備產(chǎn)能。
Archer 200 系統(tǒng)提供了一個可選模塊,該模塊具備先進的散射疊對 (SCOL™) 測量功能。此選項可實現(xiàn)亞納米級總測量誤差,讓客戶能夠無需多個專屬系統(tǒng)即可使用 SCOL 技術(shù)開始工作。
Archer 200 系統(tǒng)已被美國、歐洲及韓國的多家包含邏輯電路及內(nèi)存代工廠在內(nèi)的芯片制造商應用于 45 納米生產(chǎn)及 32 納米開發(fā)。
本站聲明: 本文章由作者或相關(guān)機構(gòu)授權(quán)發(fā)布,目的在于傳遞更多信息,并不代表本站贊同其觀點,本站亦不保證或承諾內(nèi)容真實性等。需要轉(zhuǎn)載請聯(lián)系該專欄作者,如若文章內(nèi)容侵犯您的權(quán)益,請及時聯(lián)系本站刪除。
四季酒店集團2022年10月17日宣布任命Alejandro Reynal為CEO兼總裁,希望提高集團的數(shù)據(jù)應用能力,以提升業(yè)績表現(xiàn)。在加入四季酒店之前,Reynal擔任凱悅旗下度假村品牌Apple Leisure的總裁...
關(guān)鍵字:
APPLE
CE
TE
電信
成都2022年10月19日 /美通社/ -- 近期,平安養(yǎng)老險積極籌備個人養(yǎng)老金的產(chǎn)品設(shè)計和系統(tǒng)開發(fā)工作,發(fā)展多樣化的養(yǎng)老金融產(chǎn)品,推動商業(yè)養(yǎng)老保險、個人養(yǎng)老金、專屬商業(yè)養(yǎng)老保險等產(chǎn)品供給。 搭養(yǎng)老政策東風 ...
關(guān)鍵字:
溫度
BSP
東風
大眾
廣東佛山2022年10月19日 /美通社/ -- 空間是人居生活的基礎(chǔ)單元,承載著生存與活動的最基本功能。而對于理想空間的解構(gòu)意義卻在物理性容器之外,體現(xiàn)出人們對于空間和生活深層關(guān)系的思考,同時也塑造著人與空間的新型連接...
關(guān)鍵字:
溫度
BSP
智能化
進程
上海2022年10月19日 /美通社/ -- 10月17日晚間,安集科技披露業(yè)績預告。今年前三季度,公司預計實現(xiàn)營業(yè)收入7.54億元至8.33億元,同比增長60.24%至77.03%;歸母凈利潤預計為1.73億...
關(guān)鍵字:
電子
安集科技
BSP
EPS
北京2022年10月19日 /美通社/ -- 10月18日,北京市經(jīng)濟和信息化局發(fā)布2022年度第一批北京市市級企業(yè)技術(shù)中心創(chuàng)建名單的通知,諾誠健華正式獲得"北京市企業(yè)技術(shù)中心"認定。 北京市企業(yè)技...
關(guān)鍵字:
BSP
ARMA
COM
代碼
北京2022年10月18日 /美通社/ -- 10月14日,國際數(shù)據(jù)公司(IDC)發(fā)布《2022Q2中國軟件定義存儲及超融合市場研究報告》,報告顯示:2022年上半年浪潮超融合銷售額同比增長59.4%,近5倍于...
關(guān)鍵字:
IDC
BSP
數(shù)字化
數(shù)據(jù)中心
上海2022年10月18日 /美通社/ -- 2022年9月5日,是首都銀行集團成立60周年的紀念日。趁著首都銀行集團成立60周年與首都銀行(中國)在華深耕經(jīng)營12年的“大日子”,圍繞作為外資金融機構(gòu)對在華戰(zhàn)略的構(gòu)想和業(yè)...
關(guān)鍵字:
數(shù)字化
BSP
供應鏈
控制
東京2022年10月18日 /美通社/ -- NIPPON EXPRESS HOLDINGS株式會社(NIPPON EXPRESS HOLDINGS, INC.)旗下集團公司上海通運國際物流有限公司(Nipp...
關(guān)鍵字:
溫控
精密儀器
半導體制造
BSP
廣州2022年10月18日 /美通社/ -- 10月15日,第 132 屆中國進出口商品交易會("廣交會")于"云端"開幕。本屆廣交會上高新技術(shù)企業(yè)云集,展出的智能產(chǎn)品超過140,...
關(guān)鍵字:
中國智造
BSP
手機
CAN
Zara母公司、西班牙快時尚巨頭Inditex集團考慮將其在俄羅斯的資產(chǎn)轉(zhuǎn)讓至“友好”國家的合作伙伴。這些合作伙伴可能來自東南亞或波斯灣,此舉可能允許Zara繼續(xù)在俄羅斯境內(nèi)運營。Inditex的一些品牌,如Massim...
關(guān)鍵字:
TE
TI
MASSIMO
英國石油公司(bp)收購美國可再生天然氣公司Archaea Energy,刷新了全球可再生燃料企業(yè)的收購紀錄,總收購價格達41億美元(含8億美元的債務)。這也是英國石油公司首席執(zhí)行官伯納德·魯尼自2020年初上任以來進行...
關(guān)鍵字:
ENERGY
天然氣
RC
Intel Arc A7系列高端顯卡發(fā)布后,作為Intel顯卡首家核心合作伙伴,藍戟第一時間同步推出了非公版新品,Arc A770 Flux 8G OC、A750 Flux 8G OC、A750 Photon 8G OC...
關(guān)鍵字:
Intel
顯卡
RC
PHOTON
今年7月份,Stellantis集團宣布,由于之前宣布的Stellantis獲得與廣汽集團合資企業(yè)廣汽菲克多數(shù)股份的計劃缺乏進展,Stellantis將采用輕資產(chǎn)方式在中國發(fā)展Jeep品牌,并與廣汽集團協(xié)商終止本地合資企...
關(guān)鍵字:
ANTI
LAN
汽車
TE
要問機器人公司哪家強,波士頓動力絕對是其中的佼佼者。近來年該公司在機器人研發(fā)方面獲得的一些成果令人印象深刻,比如其開發(fā)的機器人會后空翻,自主爬樓梯等。這不,波士頓動力又發(fā)布了其機器人組團跳男團舞的新視頻,表演的機器人包括...
關(guān)鍵字:
機器人
BSP
工業(yè)機器人
現(xiàn)代汽車
南京2022年10月17日 /美通社/ -- 日前《2022第三屆中國高端家電品牌G50峰會》于浙江寧波落幕,來自兩百余名行業(yè)大咖、專家學者共同探討了在形勢依然嚴峻的當下,如何以科技創(chuàng)新、高端化轉(zhuǎn)型等手段,幫助...
關(guān)鍵字:
LINK
AI
BSP
智能家電
SAIHUB CAB 025M成功獲得安全試驗所UL美國與加拿大認證證書 新加坡2022年10月17日 /美通社/ -- SAI.TECH Global Corporation("SAI.TECH"...
關(guān)鍵字:
AI
BSP
PS
清潔能源
鄭州2022年10月17日 /美通社/ -- 近日,《福布斯》發(fā)布了"2022年全球最佳雇主榜單"(The World's Best Employers 2022),中國平安再度上榜并排名全...
關(guān)鍵字:
福布斯
ST
TI
BSP
通過第二項3nm設(shè)計選用擴展技術(shù)領(lǐng)先地位 第三季度強勁的貿(mào)易和設(shè)計選用反映出我們結(jié)合了IP和定制硅的混合業(yè)務模式 自2022年9月1日起,OpenFive首次并入集團 盡管宏觀環(huán)境困難,但管理層仍對業(yè)務...
關(guān)鍵字:
BSP
ALPHA
PEN
Silicon
英國石油公司(bp)宣布同意收購美國最大可再生天然氣生產(chǎn)商之一Archaea Energy公司。經(jīng)監(jiān)管部門和Archaea股東批準的協(xié)議收購將以33億美元現(xiàn)金以及約8億美元凈債務進行,收購總價值近41億美元。雙方目標在2...
關(guān)鍵字:
ENERGY
天然氣
RC
科濟藥業(yè)宣布, 中國國家藥品監(jiān)督管理局已受理澤沃基奧侖賽注射液(zevorcabtagene autoleucel,研發(fā)代號:CT053)的新藥上市申請。澤沃基奧侖賽注射液是一種用于治療復發(fā)/難治多發(fā)性骨髓瘤的全人抗自體...
關(guān)鍵字:
GEN
RC
EV
CE