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[導(dǎo)讀]全自動(dòng)高速晶圓級(jí)參數(shù)測(cè)試解決方案面向最新的功率半導(dǎo)體器件, 包括高達(dá)3 kV的SiC和GaN

 中國(guó)北京2016年10月27日 – 全球領(lǐng)先的測(cè)量解決方案提供商——泰克科技公司日前推出Keithley S540功率半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng),這是為高達(dá)3kV的功率半導(dǎo)體器件和結(jié)構(gòu)提供的一種全自動(dòng)48針參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)。全集成S540是為用于最新復(fù)合功率半導(dǎo)體材料而優(yōu)化的,包括金剛砂(SiC)和氮化鎵(GaN),可以在一個(gè)探頭接入中執(zhí)行所有高壓測(cè)試、低壓測(cè)試和電容測(cè)試。

隨著對(duì)功率半導(dǎo)體器件的需求不斷提高,同時(shí)也隨著SiC和GaN日益商業(yè)化,制造商正在生產(chǎn)工藝中采用晶圓級(jí)測(cè)試,以優(yōu)化良品率,改善盈利能力。對(duì)這些應(yīng)用,S540最大限度地縮短了測(cè)試時(shí)間和測(cè)試設(shè)置時(shí)間,減少了占用空間,同時(shí)實(shí)現(xiàn)了實(shí)驗(yàn)室級(jí)高壓測(cè)量性能,降低了擁有成本。

“許多鑄造廠正使用定制的混合測(cè)試系統(tǒng),來執(zhí)行功率半導(dǎo)體測(cè)試,在從低壓測(cè)試轉(zhuǎn)向高壓測(cè)試時(shí),這要求手動(dòng)改變測(cè)試設(shè)置。正如大家預(yù)想的一樣,這會(huì)增加工藝步驟,延緩生產(chǎn)速度。”泰克科技公司吉時(shí)利產(chǎn)品線總經(jīng)理Mike Flaherty說,“相比之下,S540是一種完整的全集成解決方案,特別適合必須迅速測(cè)試各種器件的生產(chǎn)環(huán)境。”

為提供生產(chǎn)級(jí)性能,S540可以在最多48針上執(zhí)行參數(shù)測(cè)量,而不用改變電纜或探頭插件設(shè)施。它還可以執(zhí)行高達(dá)3kV的晶體管電容測(cè)量,如Ciss、Coss和Crss,而無需手動(dòng)重新配置測(cè)試引腳。S540還提供了pA級(jí)測(cè)量性能,可以在不到1秒內(nèi)執(zhí)行全自動(dòng)高壓泄漏電流測(cè)試,進(jìn)一步提升了測(cè)試產(chǎn)出。

作為標(biāo)準(zhǔn)商業(yè)產(chǎn)品,S540提供了可以全面追蹤的系統(tǒng)指標(biāo),滿足安全規(guī)范,并提供了診斷功能及全球服務(wù)和支持,而內(nèi)部開發(fā)或定制的系統(tǒng)經(jīng)常會(huì)缺失這些功能。S540秉承吉時(shí)利30余年的半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試經(jīng)驗(yàn),把行業(yè)領(lǐng)先的半導(dǎo)體測(cè)試儀器與高低壓開關(guān)矩陣、線纜、探頭插件適配器、探頭驅(qū)動(dòng)器和測(cè)試軟件整合在一起。

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